OmniGrade: Pfeiffer Vacuum egy új, testreszabott RGA-rendszert kínál a magas színvonalú tisztasági bizonyítékokhoz

A Pfeiffer Vacuum egy új, testreszabott RGA-rendszert kínál az igényes tisztasági vizsgálatokhoz.

– Restgázanalysesystem alacsony kimutatási határértékekkel
– Automatikus mérési folyamat
– Ügyféligények moduláris kiszolgálása

A Pfeiffer Vacuum a vákuumpumpák, szivárgáskeresők, mérő- és elemzőberendezések, alkatrészek, valamint vákuumkamrák és -rendszerek mellett most személyre szabott teljes megoldásokat kínál, például Restgázanalysesystemeket (RGA). A gyorsan növekvő piacok magas műszaki követelményekkel egyre nagyobb hangsúlyt fektetnek a kiváló tisztaságra, mivel a molekuláris szennyeződések negatívan befolyásolják termékeik funkcionalitását. Ezért egyre több ügyfél támaszt magasabb követelményeket a tisztasággal kapcsolatban. Az EUV-litográfia területén ezeket például a „Generic Standards” GSA 07 1221 & GSA 07 2221 határozza meg. A termékminőség biztosításának kulcsa a kiemelkedő szilárdságú termékek meghatározásában rejlik, különösen a magas vákuum körülmények között végzett kiáramlási sebesség helyes mérésében, az új, ügyfélspecifikus Pfeiffer Vacuum rendszer, az OmniGrade segítségével.

Az OmniGrade egy fejlett Restgázanalysesystem, amelynek kialakítása úgy lett megválasztva, hogy megfeleljen a specifikus vizsgálati követelményeknek. A Pfeiffer Vacuum szakértői csapata a legjobb megoldást dolgozza ki ezekhez az igényekhez, figyelembe véve az összköltségeket és a szállítási időket. Egy konfiguráció két vagy három kamrából áll. Tartalmazza a spektrométerkamrát, ahol a tömegspektrométer helyezkedik el, valamint egy mérőkamrát, ahol a mintákat mérés közben elhelyezik. Egy átjárókamra az automatikus átvitel rendszerrel, amely minimalizálja a rendszer háttérszennyeződését és a minta szállítását, opcionálisan elérhető. Az OmniGrade alacsony helyigénnyel és a legújabb interfészekkel való egyszerű integrációval lett tervezve. Emellett lehetőség van tisztatéri kompatibilitásra is. A tömegspektrométer a követelmények szerint választható (PrismaPro vagy HiQuad). A rendszer hőmérséklet szerinti hevítése, akár az egész rendszer, akár a minta együtt (Bake-out), tovább növeli a mérési képességet és javítja a minták tisztaságát.

„Az OmniGrade energiatakarékos komponensekkel és fejlett technológiákkal lett felszerelve, amelyek csökkentik a hulladékot és a kibocsátásokat. Segít optimalizálni a tisztaság ellenőrzésének folyamatait, ami kevesebb hulladékot és hatékonyabb erőforrás-felhasználást eredményez a gyártás során” – mondta Patrick Walther, a Pfeiffer Vacuum Instruments stratégiai termékmenedzsere a Precision Fairen.