OmniGrade: Pfeiffer Vacuum biedt een nieuw op maat gemaakt RGA-systeem voor veeleisende zuiverheidsbewijzen

Pfeiffer Vacuum biedt een nieuw op maat gemaakt RGA-systeem voor verfijnde reinheidsverificatie.

Restgasanalysesystem met lage detectielimieten
Geautomatiseerd meetproces
Modulaire bediening van klantvereisten

Naast vacuumpompen, lekzoekers, meet- en analysetoestellen, onderdelen evenals vacuümkamers en -systemen biedt Pfeiffer Vacuum nu ook op maat gemaakte complete oplossingen in de vorm van restgasanalysesystemen (RGA) aan. Snelgroeiende markten met hoge technische eisen hechten steeds meer waarde aan uitstekende reinheid, omdat moleculaire verontreinigingen de functionaliteit van hun producten negatief beïnvloeden. Daarom stellen steeds meer klanten hogere eisen aan de zuiverheid. In het gebied van EUV-lithografie worden deze bijvoorbeeld gedefinieerd door de "Generic Standards" GSA 07 1221 & GSA 07 2221. De sleutel tot het waarborgen van de productkwaliteit ligt in de juiste bepaling van de uitgasingssnelheden onder hoogvacuumomstandigheden met het nieuwe klantgerichte systeem van Pfeiffer Vacuum genaamd OmniGrade.

OmniGrade is een geavanceerd restgasanalysesysteem, waarbij het ontwerp zo is gekozen dat het voldoet aan de specifieke testvereisten. Een team van Pfeiffer Vacuum-experts ontwikkelt de best mogelijke oplossing voor deze eisen, rekening houdend met de totale kosten en doorlooptijden. Een configuratie omvat twee of drie kamers. Het bestaat uit de spectrometerruimte, waarin het massaspectrometer wordt geplaatst, evenals een meetkamer waarin de monsters tijdens de meting worden geplaatst. Een schakelkamer ter minimalisering van de systeemondergrond en het monstertransport via een automatisch transfersysteem is optioneel beschikbaar. OmniGrade is ontworpen voor een kleine ruimte en eenvoudige integratie met de nieuwste interfaces. Daarnaast is compatibiliteit met cleanroomomgevingen mogelijk. Het massaspectrometer kan worden geselecteerd op basis van de eisen (PrismaPro of HiQuad). Thermisch verwarmen, hetzij van het systeem zelf, hetzij samen met het monster (bake-out), draagt bij aan verdere optimalisatie van de meetmogelijkheden en verbetering van de reinheid van de monsters.

“OmniGrade is uitgerust met energiezuinige componenten en geavanceerde technologieën die afval en emissies verminderen. Het helpt de processen voor het controleren van de zuiverheid te optimaliseren, wat leidt tot minder afval en een efficiënter gebruik van de hulpbronnen in de productie van de klant,” aldus Patrick Walther, Strategic Product Manager Instruments bij Pfeiffer Vacuum, op de Precision Fair.