OmniGrade: Pfeiffer Vacuum offre un nuovo sistema RGA su misura per prove di purezza esigenti

Pfeiffer Vacuum offre un nuovo sistema RGA personalizzato per verifiche di purezza sofisticate.

Sistema di analisi dei gas residui con limiti di rilevamento bassi
Processo di misurazione automatizzato
Servizio modulare alle esigenze del cliente

Oltre a pompe a vuoto, rilevatori di perdite, strumenti di misura e analisi, componenti, nonché camere e sistemi a vuoto, Pfeiffer Vacuum offre ora anche soluzioni su misura sotto forma di sistemi di analisi dei gas residui (RGA). Mercati in rapida crescita con elevate esigenze tecniche attribuiscono sempre più importanza a un'eccellente pulizia, poiché le contaminazioni molecolari influenzano negativamente la funzionalità dei loro prodotti. Per questo motivo, sempre più clienti richiedono livelli di purezza più elevati. Nel settore della litografia EUV, questi requisiti sono definiti, ad esempio, dagli standard generici GSA 07 1221 e GSA 07 2221. La chiave per garantire la qualità del prodotto risiede nella corretta determinazione dei tassi di outgassing in condizioni di alto vuoto con il nuovo sistema personalizzato di Pfeiffer Vacuum chiamato OmniGrade.

OmniGrade è un sistema di analisi dei gas residui altamente sviluppato, progettato in modo che il suo design soddisfi le specifiche esigenze di test. Un team di esperti di Pfeiffer Vacuum sviluppa la soluzione migliore per queste esigenze, considerando i costi complessivi e i tempi di consegna. Una configurazione comprende due o tre camere. Consiste nella camera dello spettrometro, in cui viene posizionato lo spettrometro di massa, e in una camera di misurazione, in cui vengono collocati i campioni durante la misurazione. È disponibile opzionalmente una camera di scambio per minimizzare il background del sistema e il trasporto dei campioni tramite un sistema di trasferimento automatico. OmniGrade è stato progettato per occupare poco spazio e per un'integrazione semplice con le interfacce più recenti. È inoltre possibile la compatibilità con ambienti di cleanroom. Lo spettrometro di massa può essere scelto in base alle esigenze (PrismaPro o HiQuad). Il riscaldamento termico, sia del sistema stesso che insieme al campione (Bake-out), contribuisce a ottimizzare ulteriormente le capacità di misurazione e a migliorare la purezza dei campioni.

“OmniGrade è stato dotato di componenti a basso consumo energetico e di tecnologie avanzate che riducono rifiuti ed emissioni. Contribuisce a ottimizzare i processi di verifica della purezza, portando a una riduzione dei rifiuti e a un uso più efficiente delle risorse nella produzione del cliente”, ha affermato Patrick Walther, Strategic Product Manager Instruments di Pfeiffer Vacuum, alla Precision Fair.