OmniGrade: Pfeiffer Vacuum ofrece un nuevo sistema RGA a medida para pruebas de pureza exigentes

Pfeiffer Vacuum ofrece un nuevo sistema RGA personalizado para verificaciones de limpieza sofisticadas.

Sistema de análisis de gases residuales con límites de detección bajos
Proceso de medición automatizado
Atender las necesidades del cliente de manera modular

Además de bombas de vacío, buscadores de fugas, equipos de medición y análisis, componentes, así como cámaras y sistemas de vacío, Pfeiffer Vacuum ahora también ofrece soluciones completas a medida en forma de sistemas de análisis de gases residuales (RGA). Los mercados emergentes con altas exigencias técnicas cada vez valoran más la limpieza excepcional, ya que las contaminaciones moleculares afectan negativamente la funcionalidad de sus productos. Por ello, cada vez más clientes establecen requisitos más estrictos en cuanto a pureza. En el ámbito de la litografía EUV, estos requisitos están definidos, por ejemplo, por los "Estándares Genéricos" GSA 07 1221 y GSA 07 2221. La clave para garantizar la calidad del producto radica en determinar correctamente las tasas de desgasificación bajo condiciones de ultra alto vacío con el nuevo sistema personalizado de Pfeiffer Vacuum llamado OmniGrade.

OmniGrade es un sistema avanzado de análisis de gases residuales, cuyo diseño se selecciona para cumplir con los requisitos específicos de prueba. Un equipo de expertos de Pfeiffer Vacuum desarrolla la mejor solución posible para estos requisitos, teniendo en cuenta los costes totales y los plazos de entrega. Una configuración incluye dos o tres cámaras. Consiste en la cámara espectrométrica, donde se coloca el espectrómetro de masas, y una cámara de medición, donde se colocan las muestras durante la medición. Opcionalmente, se puede disponer de una cámara de compuerta para minimizar el fondo del sistema y el transporte de muestras mediante un sistema de transferencia automático. OmniGrade ha sido diseñado para ocupar poco espacio y facilitar su integración con las interfaces más recientes. Además, es compatible con salas limpias. El espectrómetro de masas puede seleccionarse según los requisitos (PrismaPro o HiQuad). La calefacción térmica, ya sea del sistema en sí o junto con la muestra (Bake-out), contribuye a optimizar aún más la capacidad de medición y a mejorar la pureza de las muestras.

“OmniGrade está equipado con componentes energéticamente eficientes y tecnologías avanzadas que reducen residuos y emisiones. Contribuye a optimizar los procesos de verificación de pureza, lo que conduce a menos residuos y a un uso más eficiente de los recursos en la producción del cliente”, afirmó Patrick Walther, Gerente de Producto Estratégico de Instrumentos en Pfeiffer Vacuum, en la Precision Fair.