Fraunhofer CNT signe un accord-cadre de développement conjoint avec un grand fournisseur d'équipements

Fraunhofer CNT a annoncé en novembre 2011 la signature d'un accord de développement conjoint avec ASM International N.V. (ASM). L'accord couvre une multitude de nouveaux projets au cours des cinq prochaines années.

Le Fraunhofer CNT et ASM développeront de nouvelles méthodes de processus et d'intégration, en commençant par le four vertical de la série Advance® A412 de 300 mm d'ASM, qui est configuré à la fois pour la déposition atomique de couches (ALD) et pour la déposition chimique en phase vapeur à basse pression (LPCVD). Le Fraunhofer CNT mettra à disposition ses locaux, son infrastructure et sa salle blanche pour le système A412. Les objectifs du premier projet sont le développement et l'intégration de nouveaux processus ALD en pile et de matériaux pour une utilisation dans la technologie CMOS (Complementary Metal-Oxide-Semiconductor).

Outre les 40 outils en salle blanche, les chercheurs du Fraunhofer CNT apportent une vaste expérience dans la caractérisation des processus et des matériaux, ainsi que dans la caractérisation des dispositifs nanoélectroniques. Les wafers de test ou de produit prétraités, fournis par ASM ou ses clients, sont traités au Fraunhofer CNT selon des exigences strictes de prévention de la contamination croisée, élaborées au cours de plusieurs années de coopération avec des fabricants de puces de premier plan. Cela permet d'appliquer immédiatement les résultats à la production, ce qui permet à nos partenaires de réaliser des économies de coûts et de temps de développement.

Le Professeur Peter Kücher, directeur du Fraunhofer CNT, a déclaré : « Nous sommes impatients de collaborer avec succès et sur le long terme au développement de processus innovants et économiques pour la CVD et l'ALD, avec l'un des fournisseurs mondiaux de premier plan comme ASM. » Ivo Raaijmakers, chef du département technologie chez ASM, a ajouté : « Nous avons collaboré avec CNT avec succès pendant plus de 5 ans et sommes confiants que ce nouveau cadre de R&D coopérative permettra de réaliser d'autres projets fructueux. »