Fraunhofer CNT aláírt egy közös fejlesztési keretmegállapodást egy nagy felszerelés-beszállítóval

Fraunhofer CNT bejelentette 2011 novemberében, hogy aláírtak egy közös fejlesztési megállapodást az ASM International N.V.-vel (ASM). A megállapodás számos új projektet foglal magában a következő öt év során.

A Fraunhofer CNT és az ASM új folyamat- és integrációs módszereket fognak kifejleszteni, és az ASM Advance® sorozatú A412 300 mm-es függőleges raklapkemencével kezdik, amely mind az atomréteg-leadást (ALD), mind a kémiai alacsony nyomású páralemezelést (LPCVD) konfigurálható. A Fraunhofer CNT biztosítja az A412 rendszerhez szükséges helyiségeket, infrastruktúrát és tisztatérét. Az első projekt célja új raklap-ALD folyamatok és anyagok kifejlesztése és integrálása a komplementer fém-oxid félvezető (CMOS) logikai technológiában való alkalmazásra.

A 40 tisztatéri eszköz mellett a Fraunhofer CNT tudományos szakemberei széleskörű tapasztalatokkal rendelkeznek a folyamat- és anyagkarakterizálás, valamint a nanoelektronikai eszközök jellemzése terén. Előzetesen feldolgozott teszt- vagy termékwafereket az ASM vagy ügyfeleik biztosítanak, és szigorú keresztkontaminációs követelmények mellett dolgoznak a Fraunhofer CNT-ben, amelyek évekig tartó együttműködés során fejlesztettek ki vezető chipgyártókkal. Ennek eredményeként az eredmények közvetlenül alkalmazhatók a gyártásban, így partnereink költség- és fejlesztési időt takaríthatnak meg.

Prof. Peter Kücher, a Fraunhofer CNT vezetője így nyilatkozott: „Örömmel várjuk a sikeres és hosszú távú együttműködést az innovatív és költséghatékony CVD és ALD folyamatok fejlesztésében, az egyik világvezető berendezésgyártóval, mint az ASM.” Ivo Raaijmakers, az ASM technológiai osztályának vezetője hozzátette: „Több mint 5 évig sikeresen dolgoztunk a CNT-vel, és bízhatunk abban, hogy ez az új kooperatív K+F keret további sikeres projekteket tesz lehetővé.”