Fraunhofer CNT ondertekent gezamenlijke ontwikkelingsraamovereenkomst met grote toeleverancier

Fraunhofer CNT kondigde in november 2011 de ondertekening aan van een gezamenlijke ontwikkelingsovereenkomst met ASM International N.V. (ASM). De overeenkomst omvat een scala aan nieuwe projecten in de komende vijf jaar.

Het Fraunhofer CNT en ASM zullen nieuwe proces- en integratiemethoden ontwikkelen en starten met ASM’s Advance® Serie A412 300 mm verticale stapeloven, die zowel voor atomaire laagafzetting (ALD) als voor chemische laagdrukdampafzetting (LPCVD) is geconfigureerd. Het Fraunhofer CNT zal faciliteiten, infrastructuur en zijn cleanroom beschikbaar stellen voor het A412-systeem. De doelen van het eerste project zijn het ontwikkelen en integreren van nieuwe stapel-ALD-processen en materialen voor gebruik in de complementaire metaal-oxide-halfgeleider (CMOS)-logica-technologie.

Naast de 40 cleanroom-tools brengen de wetenschappers van het Fraunhofer CNT uitgebreide ervaring in proces- en materiaalkarakterisering, evenals de karakterisering van nano-elektronische apparaten. Voorproces-geprepareerde test- of productwafers worden door ASM of hun klanten aangeleverd en onder strikte kruiscontaminatie-eisen, ontwikkeld door jarenlange samenwerking met toonaangevende chipfabrikanten, verwerkt bij het Fraunhofer CNT. Hierdoor kunnen de resultaten direct in de productie worden toegepast, waardoor onze partners kosten- en ontwikkeltijd kunnen besparen.

Prof. Peter Kücher, hoofd van het Fraunhofer CNT, verklaarde: “We kijken uit naar een succesvolle en langdurige samenwerking bij de ontwikkeling van innovatieve en kosteneffectieve processen voor CVD en ALD, met een van ’s werelds toonaangevende leveranciers zoals ASM.” Ivo Raaijmakers, hoofd van de technologieafdeling bij ASM, voegde daaraan toe: “We hebben meer dan 5 jaar succesvol samengewerkt met CNT en zijn ervan overtuigd dat dit nieuwe gezamenlijke R&D-kader verdere succesvolle projecten mogelijk zal maken.”