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Fraunhofer CNT firma un acuerdo marco de desarrollo conjunto con un gran proveedor de equipos
Fraunhofer CNT anunció en noviembre de 2011 la firma de un acuerdo conjunto de desarrollo con ASM International N.V. (ASM). El acuerdo abarca una variedad de nuevos proyectos durante los próximos cinco años.
El Fraunhofer CNT y ASM desarrollarán nuevos métodos de proceso e integración y comenzarán con el horno vertical apilable de la serie A412 300 mm de ASMâs Advance®, que está configurado tanto para la deposición atómica de capa (ALD) como para la deposición química en fase vapor a baja presión (LPCVD). El Fraunhofer CNT proporcionará instalaciones, infraestructura y su sala limpia para el sistema A412. Los objetivos del primer proyecto son el desarrollo e integración de nuevos procesos y materiales de ALD en pila para su uso en la tecnología de lógica de semiconductores de óxido metálico complementario (CMOS).
Además de las 40 herramientas en la sala limpia, los científicos del Fraunhofer CNT aportan una amplia experiencia en la caracterización de procesos y materiales, así como en la caracterización de dispositivos nanoelectrónicos. Las obleas de prueba o producto preprocesadas son proporcionadas por ASM o sus clientes y se procesan en el Fraunhofer CNT bajo estrictos requisitos de contaminación cruzada, desarrollados a través de años de colaboración con fabricantes líderes de chips. Esto permite que los resultados se apliquen directamente en la producción, generando ahorros en costos y tiempo de desarrollo para nuestros socios.
El Prof. Peter Kücher, director del Fraunhofer CNT, declaró: «Estamos contentos de colaborar de manera exitosa y a largo plazo en el desarrollo de procesos innovadores y rentables para CVD y ALD, con uno de los proveedores líderes mundiales como ASM». Ivo Raaijmakers, jefe del departamento de tecnología en ASM, añadió: «Hemos colaborado con CNT durante más de 5 años con éxito y confiamos en que este nuevo marco cooperativo de I+D permitirá futuros proyectos exitosos».
