Fab high-tech de Jenoptik à Dresde reçoit une installation de lithographie par faisceau d'électrons ultramoderne

Image conceptuelle de la nouvelle usine high-tech. © studiobrand.3dvisuals

Le groupe de photonique Jenoptik investit une somme à deux chiffres en millions dans le parc d'équipements de la nouvelle usine de haute technologie en construction à Dresde. Avec la nouvelle installation de lithographie par faisceau d'électrons (« E-Beam »), des composants micro-optiques de haute précision seront désormais fabriqués pour des clients du secteur des semi-conducteurs et de la communication optique. La livraison de l'installation est prévue pour début 2025. Le fabricant est le spécialiste en technologie E-Beam basé à Jena, Vistec Electron Beam GmbH.

Créer des structures les plus petites avec la précision la plus élevée

Une telle installation de lithographie par faisceau d'électrons peut « écrire » des structures avec une précision dans la plage de 10 nanomètres (environ 1/2 000e d’un cheveu) sur des substrats allant jusqu’à 300 mm de taille.

L’installation de lithographie par faisceau d’électrons Vistec SB3050-2 repose sur le principe dit de faisceau variable, permettant de structurer avec une grande précision et efficacité de vastes surfaces. Le haut degré d’automatisation, associé à une flexibilité quant aux substrats utilisables, sont d’autres caractéristiques du Vistec SB3050-2 qui permettent son utilisation en environnement industriel. L’équipement de l’installation avec une fonctionnalité de projection de cellules ouvre d’autres possibilités pour des applications en micro-optiques.

Jenoptik est déjà actif à Dresde depuis 2007. Avec la nouvelle usine de haute technologie dans le parc aéroportuaire de Dresde, l’entreprise regroupe la production, actuellement dispersée sur plusieurs petits sites, tout en augmentant ses capacités. La production en salle blanche dans la nouvelle usine s’étend sur 2 000 mètres carrés, avec des zones de salles blanches de classes ISO 5 et 3, répondant aux exigences les plus strictes en matière de stabilité vibratoire et de constance de température.

Pour l’ensemble de l’usine, des normes environnementales élevées sont prises en compte : Jenoptik vise à respecter, avec la « norme KfW 40 » et la « certification LEED Gold », les critères de bâtiment les plus complets et stricts en matière de durabilité. Parallèlement, des emplois de haute qualité sont créés, le nombre d’employés sur place dépassant les 120. La capitale de la Saxe devient ainsi le principal site pour le domaine de la micro-optiques.