Hightech-Fab firmy Jenoptik w Dreźnie otrzymuje najnowocześniejszą maszynę do elektronowej litografii

Obraz koncepcyjny nowej fabryki. © studiobrand.3dvisuals / Concept image of the new high-tech fab. © studiobrand.3dvisuals

Grupa photoniczna Jenoptik inwestuje niskie dwucyfrowe miliony euro w park maszynowy obecnie powstającej high-tech fabryki w Dreźnie. Nowa maszyna do litografii elektronowej („E-Beam“) będzie w przyszłości produkować wysoce precyzyjne mikrooptyczne komponenty dla klientów z branży półprzewodników i komunikacji optycznej. Dostawa maszyny planowana jest na początek 2025 roku. Producentem jest jenańska firma specjalizująca się w technologii E-Beam, Vistec Electron Beam GmbH.

Tworzenie najmniejszych struktur z najwyższą precyzją

Takie urządzenie do litografii elektronowej może "zapisywać" struktury z precyzją w zakresie 10 nanometrów (około 1/2.000 części włosa) na substratach o rozmiarze do 300 mm.

Maszyna do litografii elektronowej Vistec SB3050-2 opiera się na tak zwanym zasadzie zmiennego wiązki formy, która umożliwia wysokoprecyzyjne i skuteczne strukturyzowanie dużych powierzchni. Wysoki poziom automatyzacji, przy jednoczesnej elastyczności w zakresie używanych substratów, to kolejne cechy Vistec SB3050-2, które umożliwiają jej zastosowanie w środowisku przemysłowym. Wyposażenie maszyny w funkcję projekcji komórek otwiera dodatkowe możliwości zastosowań w mikrooptyce.

Jenoptik działa w Dreźnie od 2007 roku. Dzięki nowej high-tech fabryce w parku lotniskowym w Dreźnie firma łączy obecną produkcję rozproszoną na kilku małych lokalizacjach, jednocześnie zwiększając moce produkcyjne. Produkcja w czystej strefie w nowej fabryce obejmuje 2000 metrów kwadratowych z pomieszczeniami czystymi klasy ISO 5 i 3, spełniając najwyższe wymagania dotyczące odporności na drgania i stabilności temperatury.

Przy planowaniu całej fabryki uwzględniane są wysokie standardy środowiskowe: Jenoptik dąży do spełnienia najbardziej rygorystycznych i kompleksowych kryteriów budynków pod względem zrównoważonego rozwoju, takich jak "KfW 40 Standard" oraz "LEED Gold Standard Certification". Jednocześnie powstają wysokiej jakości miejsca pracy, a liczba pracowników na miejscu wzrośnie do ponad 120. Stolica Saksonii stanie się głównym ośrodkiem w dziedzinie mikrooptyki.