Hightech-fáze Jenoptik v Drážďanech získává nejmodernější zařízení pro elektronovou litografii

Konzeptbild der neuen Fabrik. © studiobrand.3dvisuals / Concept image of the new high-tech fab. © studiobrand.3dvisuals

Skupina fotonických technologií Jenoptik investuje nízké jednotky desítek milionů eur do zařízení v rámci právě vznikající high-tech továrny v Drážďanech. S novým zařízením na elektronovou litografii ("E-Beam") budou v budoucnu vyráběny vysoce přesné mikrooptické komponenty pro zákazníky z oblasti polovodičů a optické komunikace. Dodání zařízení je plánováno na začátek roku 2025. Výrobcem je jenská společnost Vistec Electron Beam GmbH, specialista na E-Beam technologie.

Vytváření nejmenších struktur s nejvyšší přesností

Takové zařízení na elektronovou litografii dokáže "napsat" struktury s přesností v rozmezí 10 nanometrů (přibližně 1/2 000 část vlasu) na substráty o velikosti až 300 mm.

Zařízení na elektronovou litografii Vistec SB3050-2 je založeno na tzv. principu variabilního tvarového paprsku, který umožňuje vysokou přesnost a efektivní strukturování velkých ploch. Vysoká míra automatizace spolu s flexibilitou v použití různých substrátů jsou dalšími vlastnostmi Vistec SB3050-2, které umožňují jeho použití v průmyslovém prostředí. Výbava zařízení s funkcí projekce buněk otevírá další možnosti pro aplikace v mikrooptice.

Jenoptik je v Drážďanech aktivní již od roku 2007. S novou high-tech továrnou v letištním parku v Drážďanech spojuje firma výrobu, která je v současnosti rozdělena mezi několik menších místních provozů, a zároveň rozšiřuje kapacity. Výrobní prostory v nové továrně na čisté prostory mají rozlohu 2 000 metrů čtverečních a zahrnují čisté prostory třídy ISO 5 a 3, splňující nejvyšší požadavky na odolnost vůči vibracím a stálost teploty.

Pro celou továrnu jsou zohledněny vysoké environmentální standardy: Jenoptik usiluje o splnění nejkomplexnějších a nejpřísnějších kritérií udržitelnosti, například "KfW 40 standard" a "LEED Gold standard certifikace". Současně vznikají vysoce kvalitní pracovní místa, počet zaměstnanců na místě se zvýší na více než 120. Saska tak bude hlavním místem pro oblast mikrooptiky.