Hightech-fabriek van Jenoptik in Dresden ontvangt geavanceerde elektronenstraal-lithografiesysteem

Conceptafbeelding van de nieuwe fabriek. © studiobrand.3dvisuals / Concept image of the new high-tech fab. © studiobrand.3dvisuals

De fotonicaconcern Jenoptik investeert een laag twee-cijferig miljoenenbedrag in de apparatuur van de momenteel opgerichte hightech-fabriek in Dresden. Met de nieuwe elektronenstraal-lithografie-installatie ("E-Beam") worden in de toekomst hoogprecisie microoptische componenten geproduceerd voor klanten uit de halfgeleidersector en de optische communicatie. De levering van de installatie vindt plaats begin 2025. De fabrikant is de in Jena gevestigde E-Beam-technologiespecialist Vistec Electron Beam GmbH.

De kleinste structuren met de hoogste precisie creëren

Een dergelijke elektronenstraal-lithografie-installatie kan structuren met een precisie in het bereik van 10 nanometer (ongeveer 1/2.000ste van een haar) schrijven op substraten tot 300 mm groot.

De elektronenstraal-lithografie-installatie Vistec SB3050-2 is gebaseerd op het zogenaamde variabele vormstraal-principe, waarmee ook grote oppervlakken zeer nauwkeurig en effectief kunnen worden gestructureerd. De hoge mate van automatisering, gecombineerd met flexibiliteit in betrekking tot bruikbare substraten, zijn andere eigenschappen van de Vistec SB3050-2 die het gebruik in industriële omgevingen mogelijk maken. De uitrusting van de installatie met cellprojectiefunctie opent verdere mogelijkheden voor toepassingen in de microoptiek.

Jenoptik is al sinds 2007 actief in Dresden. Met de nieuwe hightech-fabriek in het Airportpark Dresden bundelt het bedrijf de momenteel verspreide productie op meerdere kleine locaties, terwijl de capaciteit tegelijkertijd wordt uitgebreid. De cleanroom-productie in de nieuwe fabriek beslaat 2.000 vierkante meter met cleanroom-gebieden van klasse ISO 5 en 3, en voldoet aan de hoogste eisen op het gebied van trillingsvrijheid en temperatuurstabiliteit.

Voor de gehele fabriek worden hoge milieunormen in acht genomen: Jenoptik streeft ernaar om met de "KfW 40-standaard" en de "LEED Gold-certificering" de meest uitgebreide en strengste gebouwcriteria op het gebied van duurzaamheid te vervullen. Tegelijkertijd ontstaan hoogwaardige arbeidsplaatsen, het aantal medewerkers ter plaatse zal toenemen tot meer dan 120. De Saksische hoofdstad wordt zo de belangrijkste locatie voor de sector microoptiek.