Alta tecnología en la fábrica de Jenoptik en Dresde recibe un sistema de litografía por haz de electrones de última generación

Imagen conceptual de la nueva fábrica. © studiobrand.3dvisuals / Concept image of the new high-tech fab. © studiobrand.3dvisuals

El grupo de fotónica Jenoptik invierte una cantidad de dos dígitos baja en millones en el parque de instalaciones de la actual fábrica de alta tecnología en Dresde. Con la nueva máquina de litografía por haz de electrones ("E-Beam") se fabricarán en el futuro componentes microópticos de alta precisión para clientes del sector de semiconductores y comunicación óptica. La entrega de la máquina está prevista para principios de 2025. El fabricante es Vistec Electron Beam GmbH, especialista en tecnología de haz de electrones con sede en Jena.

Crear las estructuras más pequeñas con la máxima precisión

Una máquina de litografía por haz de electrones de este tipo puede "escribir" estructuras con una precisión en el rango de 10 nanómetros (aproximadamente 1/2.000 del grosor de un cabello) en sustratos de hasta 300 mm de tamaño.

La máquina de litografía por haz de electrones Vistec SB3050-2 se basa en el llamado principio de haz de forma variable, que también permite estructurar superficies grandes con alta precisión y eficacia. El alto grado de automatización, junto con la flexibilidad respecto a los sustratos utilizables, son otras características de la Vistec SB3050-2 que facilitan su uso en entornos industriales. La equipación de la máquina con funcionalidad de proyección de celdas abre nuevas posibilidades para aplicaciones en microóptica.

Jenoptik lleva activo en Dresde desde 2007. Con la nueva fábrica de alta tecnología en el Parque Aeroportuario de Dresde, la empresa unifica la producción, actualmente dispersa en varios pequeños sitios, y al mismo tiempo amplía su capacidad. La producción en sala limpia en la nueva fábrica se extiende a 2.000 metros cuadrados con áreas de sala limpia de las clases ISO 5 y 3, cumpliendo con los más altos requisitos de libertad de vibraciones y constancia de temperatura.

Para toda la fábrica se tienen en cuenta altos estándares medioambientales: Jenoptik aspira a cumplir con los criterios de sostenibilidad más amplios y estrictos en edificios, mediante el "Estándar KfW 40" y la "Certificación LEED Gold". Al mismo tiempo, se crearán empleos de alta calidad, y el número de empleados en el lugar aumentará a más de 120. La capital de Sajonia se convertirá así en el principal centro para el área de microóptica.