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Propreté technique : Définition de la pureté particulière - de l'industrie automobile à la technologie médicale
1. Exigences relatives à la pureté particulaire
Dans la fabrication de circuits intégrés par l'industrie des semi-conducteurs, avec des largeurs de structure allant jusqu'à 22 nm actuellement, le haut niveau de pureté particulaire requis devient immédiatement évident. La pureté particulaire, c'est-à…








