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- Elektronik (Wafer, Halbleiter, Mikrochips,...)
Ein bedeutender Schritt auf dem Weg in das Ångström-Zeitalter
Imec erhält das weltweit modernste High-NA-EUV-System
– Imec gibt bekannt, dass das ASML EXE:5200, das weltweit fortschrittlichste EUV-Lithografiesystem mit hoher numerischer Apertur (High NA), in seinem 300-mm-Reinraum in Leuven eingetroffen ist.
– Der Einsatz des High-NA-EUV-Systems in direkter Kombination mit modernsten Mess- und Strukturierungsanlag…








