Większa zrównoważoność w produkcji półprzewodników

© Ines Escherich / Fraunhofer ENAS

Fraunhofer ENAS jest częścią nowego projektu „HaloFreeEtch“, który rozpoczął się we wrześniu 2024 roku („Nowe podejścia do bezhalogenowego i zrównoważonego trawienia krzemu i szkła“). Projekt koordynowany przez Technische Universität Chemnitz ma trwać 48 miesięcy i jest finansowany przez Unię Europejską kwotą 3.997.735 €. Wraz z sześcioma międzynarodowymi partnerami, Fraunhofer ENAS podniesie produkcję przyszłych półprzewodników na wyższy poziom dzięki innowacyjnym i inteligentnym metodom trawienia.

Projekt „HaloFreeEtch” ma na celu zrewolucjonizowanie przemysłu półprzewodników poprzez opracowanie nowych, zrównoważonych, bezhalogenowych metod trawienia krzemu i tlenku krzemu. Tradycyjne przemysłowe metody plazmowego trawienia opierają się na halogenach, które niosą ze sobą poważne zagrożenia dla środowiska i zdrowia. Zastępując je bardziej zrównoważonymi alternatywami, projekt ma na celu zmniejszenie śladu węglowego i poprawę zrównoważoności produkcji półprzewodników.

Ponieważ przemysł półprzewodników jest w centrum innowacji technologicznych, rozwój zrównoważonych metod produkcji jest kluczowy dla środowiska i przyszłości branży. Projekt „HaloFreeEtch” ma na celu doprowadzenie Europy na czoło tego zielonego przemian i przyczynienie się do globalnych wysiłków na rzecz redukcji obciążenia środowiska i promowania zrównoważonych praktyk.

Fraunhofer ENAS odgrywa kluczową rolę w ramach „HaloFreeEtch” i będzie wspierać Centrum Mikro- i Nanotechnologii (ZfM) Technische Universität Chemnitz jako lider projektu, korzystając ze swojej specjalistycznej wiedzy w zakresie rozwoju i optymalizacji procesów trawienia, które umożliwiają precyzyjną strukturę różnych materiałów. Instytut skoncentruje się szczególnie na opracowaniu nowatorskich metod, które będą nie tylko przyjazne dla środowiska, ale także spełnią wymagania nowoczesnej produkcji półprzewodników. Dzięki zastosowaniu wodoru i innowacyjnych katalizatorów, tradycyjne metody oparte na halogenach, niosące poważne zagrożenia dla środowiska i zdrowia, mają zostać zastąpione. W ten sposób Fraunhofer ENAS wnosi cenny wkład w znaczące zmniejszenie ekologicznego śladu branży.

„Nasze badania przyczynią się do redefinicji technologii półprzewodników w Europie i poprowadzą przemysł ku bardziej zrównoważonej przyszłości” — mówi dr Karla Hiller, kierownik projektu w Fraunhofer ENAS. „Jesteśmy dumni, że możemy być częścią tego przełomowego projektu i cieszymy się na możliwość rozwijania bezhalogenowych metod trawienia.”

O projekcie „HaloFreeEtch”

Projekt, który łączy wiodących europejskich partnerów z dziedziny badań i przemysłu, ma trwać 48 miesięcy. Wyniki mają nie tylko zrewolucjonizować produkcję półprzewodników, ale także umożliwić nowe zastosowania w obszarach takich jak mikrosensorystyka i optyka.