Větší udržitelnost ve výrobě polovodičů

© Ines Escherich / Fraunhofer ENAS

Fraunhofer ENAS je součástí nového projektu »HaloFreeEtch«, který byl spuštěn v září 2024 (»Nové přístupy k halogen-free a udržitelné etchování křemíku a skla«). Projekt, jehož koordinátorem je Technická univerzita v Chemnitz, má dobu trvání 48 měsíců a je financován Evropskou unií celkovou částkou 3.997.735 €.

Společně s šesti mezinárodními partnery bude Fraunhofer ENAS v rámci tohoto projektu posouvat výrobu budoucích polovodičů na novou úroveň prostřednictvím inovativních a inteligentních etchovacích procesů.

Projekt »HaloFreeEtch« si klade za cíl revoluci v průmyslu výroby polovodičů prostřednictvím vývoje nových, udržitelných a halogen-free etchovacích procesů pro křemík a oxid křemičitý. Tradiční průmyslové plazmové etchovací procesy jsou založeny na halogenech, které představují významná environmentální a zdravotní rizika. Nahrazením těchto halogenů udržitelnějšími alternativami má být snížena uhlíková stopa a tím zlepšena udržitelnost výroby polovodičů.

Vzhledem k tomu, že průmysl polovodičů je v centru technologických inovací, je vývoj udržitelných výrobních procesů klíčový pro životní prostředí i budoucnost odvětví. Projekt »HaloFreeEtch« má za cíl dostat Evropu do čela tohoto zeleného přechodu a přispět tak k celosvětovým snahám o snížení ekologické zátěže a podporu udržitelných praktik.

Fraunhofer ENAS hraje v rámci projektu »HaloFreeEtch« klíčovou roli a podpoří Centrum mikro- a nanotechnologií (ZfM) Technické univerzity v Chemnitz jako vedoucí projektu svými odbornými znalostmi v oblasti vývoje a optimalizace etchovacích procesů, které umožňují přesné strukturování různých materiálů. Institut se bude především zaměřovat na vývoj nových metod, které jsou nejen ekologicky šetrné, ale také splňují požadavky moderní výroby polovodičů. Díky použití vodíku a inovativních katalyzátorů mají být nahrazeny tradiční halogenové procesy, jež představují významná environmentální a zdravotní rizika. Tím Fraunhofer ENAS významně přispívá ke snížení ekologické stopy odvětví.

„Naše výzkumy přispějí k novému definování polovodičové technologie v Evropě a povedou průmysl směrem k udržitelnější budoucnosti,“ říká Dr. Karla Hiller, vedoucí projektu v Fraunhofer ENAS. „Jsme hrdí na to, že jsme součástí tohoto průlomového projektu, a těšíme se na posun ve vývoji halogen-free etchovacích procesů.“

O projektu »HaloFreeEtch«

Projekt, který spojuje přední evropské výzkumné a průmyslové partnery, má dobu trvání 48 měsíců. Výsledky by měly nejen revolucionalizovat výrobu polovodičů, ale také umožnit nové aplikace v oblastech jako mikrosenzory a fotonika.