Visszanyerővíz-berendezés üzembe helyezve

A tisztított víz előállítása fordított ozmózis és elektródeionizáció kombinációjával történik.

A tiszta víz membrános gázképzése az oxigén eltávolítására.

A tisztított víz UV-berendezés a TOC-csökkentéshez és a fertőtlenítéshez.

A Hager + Elsässer berendezés 2015 novemberében üzembe helyezett egy UPW-berendezést (Ultra Pure Water) a tiszta víz előállítására az orosz Angstrem-T félvezetőgyártónál. Az a berendezés, amelyet egy új épület keretében építettek a legmodernebb wafergyártó számára, 100 m3 tiszta vizet állít elő óránként. A Hager + Elsässer meggyőzte a megrendelőt egy olyan berendezési koncepcióval, amely jelentősen csökkenti a vegyszerek fogyasztását, és nagyon alacsony maradék anyagtartalommal rendelkező tiszta vizet termel. Ez az egyik legnagyobb projekt, amelyet eddig megvalósítottak Oroszország félvezetőiparában.

A víz az egyik legfontosabb összetevő a mikroelektronikai eszközök gyártásában. A tiszta vizet kémiai oldatok előállítására, a munkadarabok öntözésére és egyéb technológiai folyamatokra, valamint a kristályok öblítésére használják a nyomtatott áramkörökön. A mikroelektronikai iparban használt víz minőségével szemben különösen magas követelmények támasztódnak.

A jelenlegi szabványok a félvezetők gyártásához négy víztípust különböztetnek meg a félvezetőelemek mérete alapján, amelyek gyártásához a vizet alkalmazzák. Az Angstrem-T Zelenogradban található UPW-berendezése tiszta vizet állít elő 90 és 130 nm közötti szerkezetméretekhez. Emellett tartalék áll rendelkezésre a 65 nm és kisebb szerkezetméretek technológiára való áttérés esetére. Minél kisebb a nanométeres tartományban gyártott termék, annál magasabb a víz tisztasági követelménye a gyártási folyamatban. „A tiszta víz minősége mindig döntő hatással van a félvezetőipar termékminőségére és a gyártási folyamat hatékonyságára. Végül is a folyamatok 30%-a szilíciumlapok öblítéséből áll,” magyarázza Anatoly Sukhoparov, az Angstrem-T AG ügyvezető igazgatója. A új berendezés tervezése 2013 áprilisában kezdődött. Összesen az orosz félvezetőgyártó kb. 11,5 millió eurót fektetett be az új berendezésbe, amelyet a Hager + Elsässer kulcsrakész megoldásként szállított – a koncepciótól az üzembe helyezésig. „Az 1990-es évek eleje óta sikeresen működünk együtt a Hager + Elsässerrel. Újra sikerült optimális megoldást találnunk ebben a megbízásban, amely mind a költségek, mind a minőség szempontjából meggyőző volt számunkra,” mondja Anatoly Sukhoparov.

A Hager + Elsässer által telepített berendezés több feldolgozási szakaszból áll, amelyek a vizet a szükséges minőségre hozzák: előtisztítás, sótalanítás, mélytisztítás (deionizálás), gázképződés eltávolítása, UV-fényes kezelés, ioncserélés és ultrafiltráció. A nyersvíz előkezeléséhez egy többrétegű szűrőt és aktívszén-szűrőt alkalmaznak. A „Make-up” folyamatlépésben az előtisztított vizet fordított ozmózissal és kétszintű elektrodeionizációval (EDI) tisztítják meg a nem kívánt részecskéktől, szerves és szervetlen szennyeződésektől, valamint ionoktól.

Egy speciális bór-polírozó biztosítja a bór-specifikációk betartását az „International Roadmap for Semiconductors” irányelvei szerint. A végső tisztítás a úgynevezett Polishing-Loop-ban történik. „Ez a kétlépcsős eljárás különösen magas tisztítási hatékonysággal rendelkezik. Lehetővé teszi a jelentősen hosszabb üzemidőket, és ezáltal megtakarításokat eredményez a polírozó cseréjénél és a regenerációnál,” magyarázza Eugen Martens, a Hager + Elsässer projektmenedzsere.

A vadonatúj UPW-berendezés szinte minden szervetlen és szerves kísérőanyagot, valamint iont eltávolít a felhasznált talajvízből. Ezért a folyamat megfelel a szigorú követelményeknek a lehető legkisebb hátramaradó anyagok tekintetében.