Reinstwasseranlage wird in Betrieb genommen

Výroba čisté vody probíhá kombinací reverzní osmózy a elektrodionizace.

Membránové odplynění čisté vody pro odstranění kyslíku.

Zařízení na čištění vody UV pro snížení TOC a dezinfekci.

Dodavatel zařízení Hager + Elsässer uvedl v listopadu 2015 do provozu systém UPW (Ultra Pure Water) pro výrobu čisté vody u ruského výrobce polovodičů Angstrem-T. Zařízení, které bylo postaveno v rámci novostavby pro vysoce moderního výrobce waferů, produkuje 100 m3 čisté vody za hodinu. Hager + Elsässer přesvědčil zadavatele konceptem zařízení, který výrazně snižuje spotřebu chemikálií a produkuje čistou vodu s velmi nízkým obsahem zbytkových látek. Jedná se o jeden z největších projektů, které byly dosud realizovány pro polovodičový průmysl v Rusku.

Voda je jednou z nejdůležitějších složek při výrobě mikroelektronických zařízení. Čistá voda se používá k výrobě chemických roztoků, čištění součástek a dalších technologických procesů, stejně jako k proplachování krystalů na deskách. Na kvalitu vody používané v mikroelektronickém průmyslu jsou kladeny zvlášť vysoké nároky.

Aktuální normy pro výrobu polovodičů rozlišují čtyři typy vody v závislosti na velikosti polovodičových prvků, při jejichž výrobě je voda používána. V systému UPW od Angstrem-T na místě v Zelenogrodu se vyrábí čistá voda pro struktury o velikosti 90 až 130 nm. Navíc je k dispozici rezerva pro přechod na technologie s velikostí struktur 65 nm a menší. Čím menší je nanometrová velikost vyráběných produktů, tím vyšší je požadovaná čistota vody pro výrobní proces. „Kvalita čisté vody má v polovodičovém průmyslu vždy rozhodující vliv na kvalitu produktu a efektivitu výrobního procesu. V konečném důsledku tvoří 30 % procesů čištění křemíkových desek,“ vysvětluje Anatoly Sukhoparov, generální ředitel Angstrem-T AG. Plánování nového zařízení začalo v dubnu 2013. Celkově ruský výrobce polovodičů investoval do nového zařízení přibližně 11,5 milionu eur, přičemž Hager + Elsässer dodal na klíč kompletní zařízení – od koncepce po uvedení do provozu. „S Hager + Elsässer spolupracujeme úspěšně již od počátku 90. let. Opět jsme díky této zakázce našli optimální řešení, které nás přesvědčilo jak z hlediska nákladů, tak kvality,“ říká Anatoly Sukhoparov.

Zařízení instalované Hager + Elsässer sestává z několika stupňů úpravy, které vodu upravují na požadovanou kvalitu: předčištění, změkčení, hluboké čištění (deionizace), odplynění, ošetření UV zářením, iontová výměna a ultrafiltrace. Pro předúpravu surové vody jsou použity vícestupňový filtr a aktivní uhlíkový filtr. V procesu „Make-up“ je předčištěná voda pomocí kombinace procesů reverzní osmózy a dvoustupňové elektrodeionizace (EDI) zbavena nežádoucích částic, organických a anorganických nečistot a iontů.

Speciální borový polisher zajišťuje splnění specifikací boru podle směrnic „International Roadmap for Semiconductors“. Konečná čištění probíhá v takzvaném Polishing-Loop. „Tato dvoustupňová metoda má zvlášť vysoký čisticí účinek. Umožňuje podstatně delší intervaly mezi výměnami brusného kotouče a regenerací,“ vysvětluje Eugen Martens, projektový manažer Hager + Elsässer.

Nový systém UPW odstraňuje téměř všechny anorganické a organické doprovodné látky a ionty z používané podzemní vody. Tímto způsobem splňuje přísné požadavky na co nejnižší zbytky.