-
- F+E & Érdekközösség
Technikai tisztaság: A részecskék tisztaságának meghatározása - az autóipartól a orvostechnikáig
1. Követelmények a részecskeszűrtség tekintetében
A félvezetőiparban gyártott integrált áramkörök, amelyek szerkezeti szélessége jelenleg akár 22 nm is lehet, azonnal nyilvánvalóvá teszik a magas szintű részecskeszűrtség iránti igényt. A részecskeszűrtség, azaz a kritikus részecskék mikrométeres tart…








