-
- F+E & Belangenvereniging
Technische Reinheit: Bestimmung der partikularen Reinheit - von der Automobilindustrie bis zur Medizintechnik
1. Eisen aan de partikulaire zuiverheid
Bij de in de halfgeleiderindustrie geproduceerde geïntegreerde schakelingen met structuurbreedtes van momenteel tot 22 nm, wordt het hoge niveau van vereiste partikulaire zuiverheid direct duidelijk. De partikulaire zuiverheid, dus het afwezigheid van kritische…








