Photolithographie dans une nouvelle lumière – Chambres blanches pour une industrie de haute technologie

Abb X : Vue d'une salle blanche protégée par une lumière jaune spéciale, où sont fabriqués des équipements sophistiqués pour la photolithographie.

Abb X : Dans la centrale technique, l'air est climatisé de manière écoénergétique et préparé pour le processus.

Abb X: Espaces de nettoyage et de propreté finis installés sur le nouveau site

Abb X : équipé de lunettes AR, le client peut se déplacer dans la salle blanche même avant qu'elle ne soit construite.

Heidelberg Instruments conçoit, développe et fabrique des systèmes de lithographie laser sans masque pour la fabrication de microstructures, répondant ainsi aux besoins de la communauté mondiale de la photolithographie, tant dans le domaine de l'écriture directe que dans la production de masques photographiques. Parmi les domaines d'application figurent MEMS, micro-optique, emballage avancé (3DIC), circuits intégrés (CI), écrans plats (FPD), microfluidique, capteurs et autres composants électroniques analogiques et numériques. Les systèmes sont utilisés dans plus de 50 pays dans la recherche et développement, le prototypage rapide et la production industrielle.

Pour la fabrication de ces équipements complexes, de nouveaux locaux ont été créés à un nouveau site à proximité de Heidelberg.

Becker Cleanroom Technology a conçu et construit clés en main des salles blanches et des salles propres adaptées aux besoins du client : sur une surface totale d'environ 1 500 m², l'entreprise est bien préparée pour l'avenir et offre des conditions environnementales optimales pour la production et le développement.

Les exigences techniques sont complexes : il faut assurer de manière fiable et toute l'année des plages de température et d'humidité, dans les zones à lumière jaune, seules certaines plages d'ondes de la lumière sont autorisées, afin de ne pas compromettre les produits et processus sensibles.

Mais la performance énergétique des salles blanches est également d'une importance fondamentale. Depuis de nombreuses années, les spécialistes de Becker Cleanroom Technology accordent une attention particulière à ce sujet dans chaque projet — les prix de l'énergie ne cessent d'augmenter et les solutions respectueuses du climat gagnent en importance.

Grâce à une technologie de refroidissement et de ventilation sophistiquée, le projet de Heidelberg a permis de réduire au minimum la consommation d'énergie pour le client : avec une préparation optimisée de l'air extérieur, une réduction des quantités d'air neuf par des surpressions ciblées, ainsi qu'une régulation de pointe, les systèmes de salle blanche peuvent fonctionner en mode pleine charge ou en mode de réduction de puissance de manière économe en énergie — ce qui permet au client d'économiser de l'argent sur toute la durée de vie du système.

Même dès la phase de planification, de nouvelles voies ont été explorées : l'ensemble du projet a été réalisé avec un nouveau logiciel compatible BIM, offrant aux planificateurs de nouvelles possibilités de planification intégrée avec toutes les parties prenantes. Mais le client bénéficie également d'avantages avant même le début des travaux de rénovation de la salle blanche : ses employés, équipés de lunettes AR (Réalité Augmentée), ont pu virtuellement parcourir la future salle blanche dans la halle encore vide : la géométrie de la salle blanche est affichée dans leur champ de vision, leur permettant de voir les proportions, la sensation d'espace et la configuration spatiale en réalité.

Il existe une tendance claire vers de telles applications, et Becker Cleanroom Technology promeut cette technologie depuis un certain temps sous le nom de « La Reine 4.0 ». La solution AR décrite ci-dessus n'est qu'un des nombreux avantages. Vous pourrez en découvrir davantage lors des prochaines Lounges 2023 à Karlsruhe, où vous pourrez voir et expérimenter cette technologie.