Fotolitografie v novém světle – čisté místnosti pro high-tech odvětví

Abb X: Pohled do čistého prostoru chráněného speciálním žlutým světlem, kde jsou vyráběny náročné zařízení pro fotolitografii.

Abb X: V technickém centru je vzduch energeticky úsporně klimatizován a upraven pro proces.

Abb X: Hotové čisté a čisté místnosti umístěny na novém místě

Abb X: vybavený AR brýlemi se může zákazník pohybovat v čisté místnosti ještě před tím, než je postavena.

Heidelberg Instruments navrhuje, vyvíjí a vyrábí maskované laserové lithografické systémy pro výrobu mikrostruktur a obsluhuje tak celosvětovou komunitu fotolitografie jak v oblasti přímého zapisování, tak ve výrobě fotomask. Mezi oblasti použití patří MEMS, mikrooptika, pokročilé balení (3DIC), integrované obvody (IC), displeje (FPD), mikrofluidika, senzory a další analogové a digitální elektronické komponenty. Systémy jsou používány ve více než 50 zemích ve výzkumu a vývoji, v rychlém prototypování a v průmyslové výrobě.

Pro výrobu těchto složitých zařízení a přístrojů byly nyní zřízeny nové prostory na novém místě v blízkosti Heidelbergu.

Becker Reinraumtechnik navrhla a dokončila na klíč čisté a sterilní místnosti na míru zákazníkovi: na ploše přibližně 1 500 m² je společnost dobře vybavena pro budoucnost a má optimální podmínky prostředí pro výrobu a vývoj.

Technické požadavky jsou složité: teplotní a vlhkostní rozsahy musí být spolehlivě a po celý rok zajištěny, v oblastech s žlutým světlem jsou povoleny pouze určité vlnové délky světla, aby nebyly ohroženy citlivé produkty a procesy.

Velmi důležitá je také energetická účinnost čistých místností. Po mnoho let věnují specialisté z Becker Reinraumtechnik v každém projektu zvláštní pozornost tomuto tématu – ceny energie stále rostou a ekologická řešení získávají na významu.

Pomocí propracované chladicí a ventilační techniky bylo v projektu v Heidelbergu minimalizováno energetické zatížení pro zákazníka: s optimalizovaným zpracováním venkovního vzduchu, snížením množství čerstvého vzduchu pomocí cílených přetoků a nejmodernější řídicí technikou lze čisté místnosti provozovat v plném zatížení i v režimu snížení energie – což zákazníkovi přináší úspory po celou dobu životnosti.

Už ve fázi plánování se hledaly nové cesty: celý projekt byl vytvořen pomocí nové BIM-systémové softwarové platformy, která umožňuje plánování s integrovaným přístupem za účasti všech zúčastněných. Ale i zákazník má již před začátkem rekonstrukce čistých místností výhody: například zaměstnanci zákazníka – vybaveni brýlemi s rozšířenou realitou (AR) – mohli virtuálně projít prázdnou halou a představit si budoucí čistý prostor: geometrie místnosti je při tom zobrazena v jejich zorném poli a lze vidět proporce, pocit prostoru a uspořádání v reálném prostředí.

Existuje jasný trend k takovým aplikacím a Becker Reinraumtechnik již delší dobu tuto technologii propaguje pod názvem „Čistá 4.0“. Přitom výše popsaná AR aplikace nabízí pouze jednu z mnoha výhod. Více o tom se můžete dozvědět a zažít na nadcházejících Lounges 2023 v Karlsruhe.