Fotolithografie in een nieuw licht – Cleanrooms voor een hightechbranche

Abb X: Blick in einen mit speziellem Gelblicht geschützten Reinraum, in dem anspruchsvolle Geräte zur Fotolithografie hergestellt werden.

Abb X: In de technische centrale wordt de lucht energie-efficiënt gekoeld en voorbereid voor het proces.

Abb X: Voltooide rein- en schoonmaakruimtes opgesteld op de nieuwe locatie

Abb X: uitgerust met een AR-bril kan de klant zich door de cleanroom bewegen nog voordat deze gebouwd is.

Heidelberg Instruments ontwerpt, ontwikkelt en produceert maskervrije laser-lithografiesystemen voor de fabricage van microstructuren en bedient daarmee de wereldwijde fotolithografiegemeenschap, zowel op het gebied van direct schrijven als in de productie van fotomaskers. Tot de toepassingsgebieden behoren MEMS, micro-optica, geavanceerde verpakking (3DIC), IC, flatpaneldisplays (FPD), microfluidica, sensoren en andere analoge en digitale elektronische componenten. De systemen worden in meer dan 50 landen ingezet voor onderzoek en ontwikkeling, rapid prototyping en industriële productie.

Voor de productie van deze complexe installaties en apparaten zijn nieuwe faciliteiten gebouwd op een nieuwe locatie nabij Heidelberg.

Becker Reinraumtechnik heeft de cleanrooms en schone kamers op maat gepland en turnkey opgeleverd: op een oppervlakte van in totaal ca. 1.500 m² is het bedrijf goed uitgerust voor de toekomst en beschikt het over optimale omgevingsomstandigheden voor productie en ontwikkeling.

De technische eisen hieraan zijn complex: temperatuur- en vochtigheidsniveaus moeten betrouwbaar en het hele jaar door veilig worden gehandhaafd, in de geellichtgebieden zijn alleen bepaalde golflengten van het licht toegestaan om de gevoelige producten en processen niet te bedreigen.

Van elementair belang is ook de energie-efficiëntie van de cleanrooms. Al vele jaren besteden de specialisten van Becker Reinraumtechnik bij elk project bijzondere aandacht aan dit onderwerp – de energiekosten blijven stijgen en ook milieuvriendelijke oplossingen worden steeds belangrijker.

Door een uitgekiende koel- en ventilatietechniek zijn in het Heidelbergse project de energieverbruiken voor de klant tot een minimum beperkt: met geoptimaliseerde buitenluchtbehandeling, vermindering van de verse luchtvolumes door gerichte overstromingen en de modernste regeltechniek kunnen de cleanroominstallaties zowel in volbelasting- als in afregelingsmodus energie-efficiënt worden bedreven – dit bespaart de klant over de gehele levensduur aanzienlijk geld.

Ook al in de ontwerpfase zijn nieuwe wegen bewandeld: het hele project is ontwikkeld met nieuwe BIM-compatibele software, die de planners nieuwe mogelijkheden biedt voor geïntegreerde planning met alle betrokkenen. Maar ook de klant heeft al voordelen voordat de cleanroom wordt gebouwd: zo konden de medewerkers van de klant – uitgerust met een AR (Augmented Reality = uitgebreide realiteit) bril – virtueel door de nog lege hal lopen in de latere cleanroom: de cleanroomgeometrie wordt daarbij in het gezichtsveld van de gebruiker weergegeven en men kan afmetingen, ruimtelijk gevoel en ruimteverhoudingen in de werkelijkheid zien.

Er is een duidelijke trend naar dergelijke toepassingen en Becker Reinraumtechnik brengt deze technologie al geruime tijd onder de naam „De Schone 4.0“ naar voren. Daarbij biedt de hierboven beschreven AR-toepassing slechts een van de vele voordelen. Meer hierover kunt u zien en ervaren tijdens de volgende Lounges 2023 in Karlsruhe.