Fotolitografie w nowym świetle – Pomieszczenia czyste dla branży high-tech

Abb X: Blick in einen mit speziellem Gelblicht geschützt Reinraum, in dem anspruchsvolle Geräte zur Fotolithografie hergestellt werden.

Abb X: W centrali technicznej powietrze jest klimatyzowane energooszczędnie i przygotowywane do procesu.

Abb X: Gotowe pomieszczenia czyste i brudne ustawione na nowej lokalizacji

Abb X: wyposażony w okulary AR, klient może poruszać się po pomieszczeniu czystym jeszcze przed jego zbudowaniem.

Heidelberg Instruments projektuje, rozwija i produkuje systemy litografii laserowej bez maski do tworzenia mikrostruktur, obsługując tym samym światową społeczność fotolitografii zarówno w zakresie bezpośredniego pisania, jak i produkcji masek fotolitograficznych. Do obszarów zastosowań należą MEMS, mikrooptika, zaawansowane pakowanie (3DIC), układy IC, wyświetlacze płaskie (FPD), mikrofluidyka, czujniki i inne elementy elektroniczne analogowe i cyfrowe. Systemy te są wykorzystywane w ponad 50 krajach w badaniach i rozwoju, w szybkim prototypowaniu oraz w produkcji przemysłowej.

W celu produkcji tych skomplikowanych urządzeń i maszyn powstały nowe pomieszczenia w nowej lokalizacji w pobliżu Heidelbergu.

Firma Becker Reinraumtechnik zaprojektowała i wybudowała na gotowo pomieszczenia czyste i klasy czystości według indywidualnych potrzeb klienta: na powierzchni około 1500 m² firma jest dobrze przygotowana na przyszłość i zapewnia optymalne warunki środowiskowe do produkcji i rozwoju.

Wymagania techniczne są skomplikowane: zakresy temperatur i wilgotności muszą być niezawodnie i przez cały rok utrzymywane, w obszarach o żółtym świetle dopuszczalne są tylko wybrane zakresy długości fal światła, aby nie narażać na szwank wrażliwych produktów i procesów.

Kluczowe jest również zapewnienie efektywności energetycznej pomieszczeń czystych. Od wielu lat specjaliści z Becker Reinraumtechnik zwracają szczególną uwagę na ten aspekt w każdym projekcie — ceny energii stale rosną, a rozwiązania przyjazne dla klimatu zyskują na znaczeniu.

Dzięki zaawansowanej technologii chłodzenia i wentylacji w projekcie w Heidelbergu udało się zminimalizować zużycie energii dla klienta: dzięki zoptymalizowanemu przygotowaniu powietrza zewnętrznego, ograniczeniu ilości świeżego powietrza poprzez celowe nadmuchi oraz najnowocześniejszej technologii sterowania, systemy czystego powietrza mogą być eksploatowane w trybie pełnej mocy i w trybie obniżonej mocy w sposób energooszczędny — co na przestrzeni całego okresu użytkowania oznacza realne oszczędności dla klienta.

Już na etapie planowania wybrano nowe rozwiązania: cały projekt został opracowany przy użyciu nowego oprogramowania obsługującego BIM, które otwiera projektantom nowe możliwości zintegrowanego planowania z udziałem wszystkich stron. Klient również odnosi korzyści jeszcze przed rozpoczęciem przebudowy pomieszczeń czystych: pracownicy klienta — wyposażeni w okulary AR (Augmented Reality — rozszerzona rzeczywistość) — mogli w wypełnionej jeszcze halle wirtualnie przejść przez przyszłe pomieszczenia czyste: geometria pomieszczenia jest wyświetlana w polu widzenia użytkownika, co pozwala na wizualizację proporcji, odczucia przestrzeni i warunków lokalowych w rzeczywistości.

Obecnie widoczny jest wyraźny trend w kierunku takich rozwiązań, a Becker Reinraumtechnik od jakiegoś czasu promuje tę technologię pod hasłem „Czysta 4.0”. Opisane powyżej zastosowanie AR to tylko jedna z wielu korzyści. Więcej na ten temat można zobaczyć i doświadczyć na następnych Lounge 2023 w Karlsruhe.