Fotolitografía en una nueva luz – Salas limpias para una industria de alta tecnología

Abb X: Vista de una sala limpia protegida con luz amarilla especial, donde se fabrican equipos sofisticados para la fotolitografía.

Abb X: En la central técnica, el aire se climatiza de manera eficiente energéticamente y se prepara para el proceso.

Abb X: Espacios limpios y muy limpios terminados en la nueva ubicación

Abb X: equipado con unas gafas de realidad aumentada, el cliente puede moverse por la sala limpia incluso antes de que esté construida.

Heidelberg Instruments diseña, desarrolla y fabrica sistemas de litografía láser sin máscara para la fabricación de microestructuras, atendiendo así a la comunidad mundial de fotolitografía tanto en el área de escritura directa como en la producción de máscaras fotográficas. Entre las áreas de aplicación se encuentran MEMS, microóptica, empaquetado avanzado (3DIC), circuitos integrados (CI), pantallas planas (FPD), microfluídica, sensores y otros componentes electrónicos analógicos y digitales. Los sistemas se utilizan en más de 50 países en investigación y desarrollo, en prototipado rápido y en producción industrial.

Para la fabricación de estos complejos equipos y dispositivos, se han creado nuevas instalaciones en una nueva ubicación cerca de Heidelberg.

Becker Reinraumtechnik ha planificado y construido a medida las salas limpias y salas blancas, entregándolas en estado llave: en una superficie total de aproximadamente 1.500 m², la empresa está bien preparada para el futuro y cuenta con condiciones ambientales óptimas para la producción y el desarrollo.

Los requisitos técnicos son complejos: se deben garantizar de manera fiable y durante todo el año los rangos de temperatura y humedad, en las áreas de luz amarilla solo se permiten ciertos rangos de longitud de onda de la luz para no poner en peligro los productos y procesos sensibles.

Pero también es de suma importancia la eficiencia energética de las salas limpias. Desde hace muchos años, los especialistas de Becker Reinraumtechnik prestan especial atención a este tema en cada proyecto: los precios de la energía siguen aumentando y las soluciones respetuosas con el clima ganan importancia.

Mediante una sofisticada tecnología de refrigeración y ventilación, en el proyecto de Heidelberg se redujeron al mínimo los consumos de energía para el cliente: con un tratamiento optimizado del aire exterior, reducción de las cantidades de aire fresco mediante sobreflujos controlados y la tecnología de regulación más moderna, los sistemas de salas limpias pueden operarse de manera energéticamente eficiente tanto en modo de máxima carga como en modo de reducción — lo que ahorra dinero al cliente a lo largo de toda la vida útil.

Incluso en la fase de planificación, se han explorado nuevos caminos: todo el proyecto se desarrolló con un software compatible con BIM, que abre nuevas posibilidades de planificación integrada para los planificadores y todos los involucrados. Pero también el cliente ya obtiene ventajas antes de que comience la construcción de la sala limpia: así, los empleados del cliente, equipados con gafas de realidad aumentada (AR), pudieron recorrer virtualmente el futuro espacio limpio en el hall aún vacío: la geometría de la sala limpia se superpone en el campo visual del usuario y se pueden ver las proporciones, la sensación espacial y las condiciones de espacio en la realidad.

Existe una clara tendencia hacia estas aplicaciones, y Becker Reinraumtechnik ha estado promoviendo esta tecnología desde hace tiempo bajo el concepto de "La Limpia 4.0". La aplicación de AR descrita anteriormente es solo una de muchas ventajas. Puede conocer y experimentar más en las próximas Lounges 2023 en Karlsruhe.