Pfeiffer Vacuum présente lors du salon Semicon Korea des solutions innovantes pour le vide

Nouveaux pompes sèches de la série A4 de Pfeiffer Vacuum. / New dry pumps from Pfeiffer Vacuum in their A4 series.

- Nouvelle série de pompes sèches A4

- Nouvelle pompe sèche A 200 L

- Nouvelles turbopompes à galets magnétiques de la série ATH-M

Pfeiffer Vacuum, un fournisseur mondial de technologies de vide, participe au salon Semicon Korea à Séoul du 12 au 14 février 2014. Les visiteurs du stand pourront échanger avec des experts de Pfeiffer Vacuum sur des solutions innovantes de vide. « Nous sommes ravis de présenter lors de Semicon Korea de nouvelles solutions de vide importantes. Avec ces développements de produits, nous fixons des normes dans l'ensemble du secteur du vide », déclare le Dr Matthias Wiemer, membre du conseil d'administration de Pfeiffer Vacuum Technology AG. La société présentera sur le stand 5730 dans la Halle D les nouveaux produits :

Nouvelle série de pompes sèches A4

Les pompes à pistons à étages multiples sans huile de la série A4 offrent une capacité d'aspiration de 100 à 1 700 m3/h. Ces pompes économes en énergie et fiables sont idéales pour une utilisation dans des processus exigeants de l'industrie des semi-conducteurs et des revêtements. Grâce à des matériaux résistants à la corrosion et à un débit de gaz élevé, cette série de pompes est notamment parfaitement adaptée aux applications CVD.

Nouvelle pompe sèche A 200 L

La nouvelle pompe à pistons à étages multiples sans huile A 200 L offre, malgré ses dimensions compactes, une capacité d'aspiration élevée et des temps de dépressurisation très courts. Cette pompe sèche est adaptée au fonctionnement en salle blanche et idéale pour des applications propres telles que les chambres de transfert et de sas, ainsi que pour toutes les autres applications non corrosives. De plus, l'A 200 L se distingue par sa facilité d'intégration dans les installations de production de semi-conducteurs et par son fonctionnement particulièrement économe en énergie.

Nouvelles turbopompes à galets magnétiques ATH 2804 M et ATH 3204 M

Dans les turbopompes magnétiques de la série ATH-M, un palier magnétique actif à 5 axes contrôle la position du rotor. Grâce à cette technologie de roulement de haute qualité, une stabilité à long terme et une fiabilité associée à une grande douceur de fonctionnement sont assurées. Équipées pour le processus et avec une capacité d'aspiration très performante, ces pompes à vide haute performance sont idéales pour une utilisation dans la fabrication de semi-conducteurs, notamment lors des processus d'etching, ainsi que pour de nombreuses autres applications industrielles.

Pfeiffer Vacuum participera également au salon Semicon China à Shanghai du 18 au 20 mars 2014.

Adresse du salon Semicon Korea :

Convention & Exhibition Center (COEX)
159 Samsung-dong, Gangnam-gu,
Séoul 135731, Corée
Stand 5730 dans la Halle D