Pfeiffer Vacuum presenta en la feria Semicon Corea soluciones innovadoras de vacío

Nuevas bombas secas de la serie A4 de Pfeiffer Vacuum. / New dry pumps from Pfeiffer Vacuum in their A4 series.

- Nueva serie de bombas secas A4

- Nueva bomba seca A 200 L

- Nuevas bombas turbopresurizadas con cojinetes magnéticos serie ATH-M

Vacío Pfeiffer, un proveedor líder mundial en tecnología de vacío, participará en la feria Semicon Korea en Seúl del 12 al 14 de febrero de 2014. Los visitantes del stand podrán intercambiar ideas con expertos de Pfeiffer Vacuum sobre soluciones innovadoras de vacío. «Estamos encantados de presentar en Semicon Korea nuevas soluciones de vacío importantes. Con estos desarrollos de productos, marcamos el rumbo en toda la industria del vacío», dice el Dr. Matthias Wiemer, miembro del consejo de Pfeiffer Vacuum Technology AG. La empresa presentará en el stand 5730 en el pabellón D los nuevos productos:

Nueva serie de bombas secas A4

Las bombas de pistón de paletas multietapas sin aceite de la serie A4 ofrecen una capacidad de succión de 100 a 1.700 m3/h. Estas bombas eficientes en energía y confiables son ideales para su uso en procesos exigentes en la industria de semiconductores y recubrimientos. Gracias a materiales resistentes a la corrosión y a un alto caudal de gases, esta serie de bombas es, por ejemplo, óptima para aplicaciones en procesos CVD.

Nueva bomba seca A 200 L

La nueva bomba de pistón de paletas multietapas sin aceite A 200 L ofrece, a pesar de sus dimensiones compactas, una alta capacidad de succión y tiempos de bombeo muy cortos. Esta bomba seca es adecuada para operar en salas limpias y es ideal para aplicaciones limpias como cámaras de esclusa y de transferencia, así como para todas las demás aplicaciones no corrosivas. Además, la A 200 L se caracteriza por su fácil integración en instalaciones de producción de semiconductores y por su funcionamiento especialmente eficiente en consumo de energía.

Nuevas bombas turbopresurizadas con cojinetes magnéticos ATH 2804 M y ATH 3204 M

En las bombas turbopresurizadas con cojinetes magnéticos de la serie ATH-M, un cojín magnético activo de 5 ejes supervisa la posición del rotor. Gracias a esta tecnología de cojinetes de alta calidad, se logra una estabilidad y fiabilidad a largo plazo combinadas con un funcionamiento muy silencioso. Debido al equipamiento de proceso de estas bombas de vacío ultralimpias y a su excelente caudal de succión, son ideales para su uso en la producción de semiconductores, especialmente en procesos de grabado, así como para muchas otras aplicaciones industriales.

Pfeiffer Vacuum también participará en la feria Semicon China en Shanghái del 18 al 20 de marzo de 2014.

Dirección de la feria Semicon Korea:

Centro de Convenciones y Exposiciones (COEX)
159 Samsung-dong, Gangnam-gu,
Seúl 135731, Corea
Stand 5730 en el pabellón D