A Pfeiffer Vacuum innovatív vákuummegoldásokat mutat be a Semicon Korea kiállításon

Új száraz szivattyúk a Pfeiffer Vacuum A4 sorozatából.

- Új szárazsorozat A4

- Új szárazsorozat A 200 L

- Új mágnescsapágyas turbó szivattyúk ATH-M sorozat

A Pfeiffer Vacuum, a világ egyik vezető vákuumtechnológiai beszállítója, részt vesz a Seoulban megrendezett Semicon Korea kiállításon 2014. február 12-14. között. A stand látogatói szakértőkkel beszélgethetnek a Pfeiffer Vacuum innovatív vákuummegoldásairól. „Örömmel mutatjuk be a Semicon Korea kiállításon a fontos új vákuummegoldásokat. Ezekkel a termékfejlesztésekkel mércét állítunk fel az egész vákuumiparban” – mondta Dr. Matthias Wiemer, a Pfeiffer Vacuum Technology AG igazgatósági tagja. A vállalat a D csarnok 5730-as standján mutatja be az új termékeket:

Új szárazsorozat A4

A többfokozatú, olajmentes forgódugattyús szivattyúk az A4 sorozatban 100-tól 1700 m3/h-ig terjedő szívóteljesítményt kínálnak. Ezek az energiatakarékos és megbízható szivattyúk ideálisak a félvezető- és bevonatgyártási folyamatok igényes alkalmazásaihoz. A korrózióálló anyagoknak és a magas gázátbocsátásnak köszönhetően ez a szivattyúsorozat például optimálisan alkalmazható CVD-folyamatokban.

Új szárazsorozat A 200 L

A új olajmentes, többfokozatú forgódugattyús szivattyú A 200 L magas szívóteljesítményt kínál, miközben kompakt méretekkel rendelkezik, és nagyon rövid leürítési időkkel működik. Ez a szárazsorozat alkalmas tisztatéri működésre, és ideális tiszta alkalmazásokhoz, például átjárók és transzferkamrák esetén, valamint minden más nem korrózív alkalmazásban. Emellett az A 200 L könnyen integrálható félvezetőgyártó berendezésekbe, és különösen energiatakarékos működést biztosít.

Új mágnescsapágyas turbó szivattyúk ATH 2804 M és ATH 3204 M

A mágnescsapágyas turbó szivattyúk ATH-M sorozatában egy aktív 5-tengelyes mágnescsapágy figyeli a rotor pozícióját. Ez a kiváló csapágytechnológia hosszú távú stabilitást és megbízhatóságot biztosít, magas futási nyugalommal párosítva. Ezek a magas vákuumigényű szivattyúk a folyamatfelszerelés részeként és kiváló szívóteljesítményükkel ideálisak a félvezetőgyártásban, különösen az etch folyamatokban, valamint sok más ipari alkalmazásban.

A Pfeiffer Vacuum szintén részt vesz a Semicon China kiállításon Sanghajban 2014. március 18-20. között.

A Semicon Korea kiállítás helyszíne:

Convention & Exhibition Center (COEX)
159 Samsung-dong, Gangnam-gu,
Szöul 135731, Korea
Stand 5730, D csarnok