La validation fiable des salles blanches

Une condition essentielle pour une réception ou une validation fiables et économiques des installations en salle blanche est le bon équipement d'aérosols.
Les filtres finaux pour salles propres doivent être testés selon la norme EN 1822 avec un aérosol de test dont le maximum de la distribution des particules doit se situer dans la zone MPPS (Most Penetration Particle Size). L'air extérieur naturel peut, selon la distribution de Junge, atteindre des concentrations jusqu'à 10^9 par m³ dans la zone MPPS.
La concentration en particules et la taille des particules de l'air extérieur varient selon les endroits, et elles diffèrent également à différents moments au même endroit. C'est pourquoi des aérosols de test à haute concentration sont utilisés pour une mesure d'acceptation rapide et fiable des salles propres. Les concentrations de ces aérosols de test se situent entre environ 10^11 et 10^14 par m³. La concentration en particules dans la salle propre est d'environ 10 à 10^5 par m³.

Les compteurs optiques de particules (OPC) doivent mesurer rapidement et de manière fiable les rares événements dans la salle propre. Les OPC disposent donc d’un grand débit d’aspiration, par exemple 28,3 l/min. La concentration maximale mesurable d’un « compteur de salle blanche » est d’environ 10^6 par ft³ ou 35 x 10^6 par m³.
C’est pourquoi, pour la mesure de l’air extérieur et la caractérisation des aérosols de test, on utilise des spectromètres à aérosols capables de mesurer sans diluer des concentrations allant jusqu’à 10^11 par m³.

Ces exemples de chiffres montrent clairement que, lors de la détermination de la concentration du gaz brut avec ce que l’on appelle des compteurs de salle blanche, des systèmes de dilution doivent être utilisés.

Les générateurs d’aérosols de la société Palas® fournissent le spectre de taille de particules étroit souhaité et ne polluent pas inutilement les filtres à tester. Les générateurs d’aérosols Palas® sont clairement caractérisés pour différents paramètres de réglage. Ils se distinguent par une grande constance de dosage et un réglage reproductible.

Les systèmes de dilution Palas® se caractérisent également par une caractérisation claire. C’est pourquoi ils sont également décrits dans la directive VDI 3491 Bl. 16.
Les systèmes de dilution Palas® peuvent être mis en cascade, permettant ainsi de réaliser facilement et de manière fiable des facteurs de dilution de 10 à 100 000. Grâce à la cascade, un test de fonctionnement sécurisé de l’ensemble de l’équipement d’aérosols peut être effectué sur place.

Les spectromètres à aérosols Palas® disposent d’une courbe d’étalonnage claire grâce à la source de lumière blanche et à la détection de la lumière diffusée à 90°, permettant ainsi des mesures à haute résolution et une excellente précision de classification.

Les produits Palas® ont fait leurs preuves dans le monde entier. Nombre d’unités vendues :
Générateurs d’aérosols : environ 500
Systèmes de dilution : environ 1000
Spectromètres à aérosols : environ 140

Pour plus d’informations, contactez Palas® GmbH :
mail@palas.de ou info@dr-lindenthal.de
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Bibliographie
/1/ EN 1822
/2/ Technologie des salles blanches, métrologie dans l’air de salle blanche, VDI 2083 Feuille 3
/3/ Méthodes de caractérisation et de surveillance des aérosols de test, aperçu VDI 3489, Feuille 1
/4/ Compteur optique de particules, VDI 3489, Feuille 3
/5/ Méthodes de génération d’aérosols de test, VDI 3491, Feuilles 1-2
/6/ Gail, Lothar ; Hortig, Hans-Peter : Technologie des salles blanches, Berlin/ Heidelberg 2002