De betrouwbare validatie van cleanrooms

Een essentiële voorwaarde voor een betrouwbare en economische acceptatie of validatie van cleanroomtechnische installaties is het juiste aerosolequipment.
Eindfilters voor schone ruimten moeten volgens EN 1822 getest worden met een testaerosol, waarvan het maximum van de deeltjesverdeling in het zogenaamde MPPS-bereik (Most Penetration Particle Size) ligt. De natuurlijke buitenlucht kan volgens de Junge-verdeling in het MPPS-bereik concentraties tot 10^9 per m³ aannemen.
De deeltjesconcentratie en de deeltjesgrootte van de buitenlucht verschillen op verschillende plaatsen, en ze zijn op dezelfde locatie op verschillende tijden eveneens verschillend. Daarom worden voor snelle en betrouwbare acceptatiemeting van cleanrooms hoog geconcentreerde testaerosolen gebruikt. De concentraties van deze testaerosolen liggen rond de 10^11 tot 10^14 per m³. De deeltjesconcentraties in de schone ruimte liggen rond de 10 tot 10^5 per m³.

Optische deeltjeszilters (OPC) moeten de weinige gebeurtenissen in de schone ruimte snel en betrouwbaar meten. OPC's hebben daarom een grote afzuigstroom, bijvoorbeeld 28,3 l/min. De maximale meetbare deeltjesconcentratie van een 'cleanroomtel' ligt bij ongeveer 10^6 per ft³ of 35 x 10^6 per m³.
Om deze reden worden voor het meten van de buitenlucht en voor de karakterisering van testaerosolen zogenaamde aerosolspectrometers gebruikt, die deeltjesconcentraties tot 10^11 per m³ onverdunt kunnen meten.

Aan de hand van deze voorbeeldcijfers wordt duidelijk dat bij de bepaling van de concentratie van het ruwe gas met zogenaamde cleanroomtelers verdunningssystemen moeten worden ingezet.

De aerosolgeneratoren van het bedrijf Palas® leveren het gewenste smalle deeltjesgrootte spectrum en vervuilen daarmee niet onnodig de te testen filters. De Palas®-aerosolgeneratoren zijn voor de verschillende instelparameters eenduidig gekarakteriseerd. Ze onderscheiden zich door een hoge doseringsconsequentie en reproduceerbare instelling.

Ook de Palas®-verdunningssystemen kenmerken zich door de eenduidige karakterisering. Om die reden worden ze ook beschreven in de VDI-richtlijn 3491 Bl. 16.
De Palas®-verdunningssystemen kunnen in cascade worden geschakeld, waardoor eenvoudig en betrouwbaar verdunningsfactoren van 10 tot 100.000 kunnen worden gerealiseerd. Met de cascadering kan ter plaatse een betrouwbare functietest van de volledige aerosolequipment worden uitgevoerd.

De Palas®-aerosolspectrometers beschikken door de witte lichtbron en de 90° strooilichtdetectie over een eenduidige kalibratiecurve en maken daarom metingen met hoge resolutie en zeer goede classificatienauwkeurigheid mogelijk.

De Palas-producten hebben zich in de wereldwijde praktijk bewezen. Verkochte aantallen:
Aerosolgeneratoren: ca. 500
Verdunningssystemen: ca. 1000
Aerosolspectrometers: ca. 140

Voor meer informatie kunt u contact opnemen met Palas® GmbH:
mail@palas.de of info@dr-lindenthal.de
Bezoek ook onze website: www.palas.de

Literatuur
/1/ EN 1822
/2/ Cleanroomtechniek, Meettechniek in de cleanroomlucht, VDI 2083 Blad 3
/3/ Methoden voor karakterisering en bewaking van testaerosolen, overzicht VDI 3489, Blad 1
/4/ Optische deeltjeszilter, VDI 3489, Blad 3
/5/ Methoden voor het genereren van testaerosolen, VDI 3491, Blad 1-2
/6/ Gail, Lothar; Hortig, Hans-Peter: Cleanroomtechniek, Berlijn/Heidelberg 2002