La validación confiable de salas limpias

Una condición esencial para una aceptación o validación confiable y económica de los sistemas de salas limpias es el equipo adecuado de aerosoles.
Los filtros finales para salas limpias deben ser probados según la norma EN 1822 con un aerosol de prueba cuyo máximo de distribución de partículas se encuentre en el llamado rango MPPS (Most Penetration Particle Size). La calidad del aire exterior natural puede, según la distribución Junge, alcanzar concentraciones de hasta 10^9 partículas por m³ en el rango MPPS.
La concentración de partículas y el tamaño de las partículas del aire exterior varían en diferentes lugares y también en diferentes momentos en el mismo lugar. Por ello, se utilizan aerosoles de prueba altamente concentrados para mediciones rápidas y seguras de aceptación en salas limpias. Las concentraciones de estos aerosoles de prueba oscilan entre aproximadamente 10^11 y 10^14 por m³. La concentración de partículas en una sala limpia es de aproximadamente 10 a 10^5 por m³.

Los contadores ópticos de partículas (OPC) deben medir rápidamente y con fiabilidad los pocos eventos en la sala limpia. Por ello, los OPC tienen un gran caudal de aspiración, por ejemplo, 28,3 l/min. La concentración máxima de partículas que puede medir un "contador de salas limpias" es de aproximadamente 10^6 por ft³ o 35 x 10^6 por m³.
Por esta razón, para medir el aire exterior y caracterizar aerosoles de prueba se emplean espectrómetros de aerosoles, que pueden medir concentraciones de partículas hasta 10^11 por m³ sin dilución.

Estos ejemplos numéricos muestran claramente que, en la determinación de la concentración del gas crudo con los llamados contadores de salas limpias, es necesario utilizar sistemas de dilución.

Los generadores de aerosoles de la empresa Palas® proporcionan el espectro de tamaño de partículas estrecho deseado y, por lo tanto, no contaminan innecesariamente los filtros a probar. Los generadores de aerosoles Palas® están claramente caracterizados para diferentes parámetros de ajuste. Se distinguen por una alta constancia en la dosificación y un ajuste reproducible.

Los sistemas de dilución Palas® también se caracterizan claramente. Por ello, están descritos en la directiva VDI 3491 Bl. 16.
Los sistemas de dilución Palas® pueden apilarse en cascada, permitiendo realizar factores de dilución de 10 a 100.000 de manera sencilla y fiable. Con la cascada, se puede realizar una prueba de funcionamiento segura de todo el equipo de aerosoles en el lugar.

Los espectrómetros de aerosoles Palas® poseen, gracias a la fuente de luz blanca y a la detección de luz dispersa a 90°, una curva de calibración clara, lo que permite mediciones con alta resolución y gran precisión en la clasificación.

Los productos Palas® han demostrado su eficacia en uso mundial. Número de unidades vendidas:
Generadores de aerosoles: aproximadamente 500
Sistemas de dilución: aproximadamente 1000
Espectrómetros de aerosoles: aproximadamente 140

Para más información, contacte con Palas® GmbH:
mail@palas.de o info@dr-lindenthal.de
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Bibliografía
/1/ EN 1822
/2/ Tecnología de salas limpias, metrología en el aire de salas limpias, VDI 2083 Hoja 3
/3/ Métodos para caracterización y monitoreo de aerosoles de prueba, resumen VDI 3489, Hoja 1
/4/ Contador óptico de partículas, VDI 3489, Hoja 3
/5/ Métodos para la generación de aerosoles de prueba, VDI 3491, Hojas 1-2
/6/ Gail, Lothar; Hortig, Hans-Peter: Tecnología de salas limpias, Berlín/Heidelberg 2002