Nowy rok, nowa praca? Sprawdź oferty! Więcej ...
C-Tec Becker Vaisala ClearClean



  • Przetłumaczone przez AI

Niezawodna walidacja czystych pomieszczeń

Kluczowym warunkiem niezawodnego i ekonomicznego odbioru lub walidacji urządzeń techniki czystego pomieszczenia jest odpowiedni sprzęt do aerozoli.
Filtry końcowe dla czystych pomieszczeń powinny być testowane zgodnie z EN 1822 za pomocą testowego aerozolu, którego maksymalny rozkład cząstek znajduje się w tzw. zakresie MPPS (Most Penetration Particle Size). Naturalne powietrze zewnętrzne może według rozkładu Junge osiągać stężenia do 10⁹ na m³.
Stężenie cząstek i ich rozmiar w powietrzu zewnętrznym różnią się w różnych miejscach, a także w tym samym miejscu w różnych czasach. Dlatego do szybkiego i pewnego pomiaru odbioru czystych pomieszczeń stosuje się wysoko stężone testowe aerozole. Stężenia tych aerozoli wynoszą około 10¹¹ do 10¹⁴ na m³. Stężenie cząstek w czystym pomieszczeniu wynosi około 10 do 10⁵ na m³.

Optical particle counters (OPC) mają szybko i niezawodnie mierzyć niewielkie zdarzenia w czystym pomieszczeniu. Dlatego OPC mają duży przepływ zasysania, np. 28,3 l/min. Maksymalne mierzalne stężenie cząstek w "czystym liczniku" wynosi około 10⁶ na ft³ lub 35 x 10⁶ na m³.
Z tego powodu do pomiaru powietrza zewnętrznego i charakterystyki testowych aerozoli stosuje się tzw. spektrometry aerozolowe, które mogą bez rozcieńczania mierzyć stężenia cząstek do 10¹¹ na m³.

Na tych przykładach liczb jasno widać, że przy określaniu stężenia surowego gazu za pomocą tzw. liczników czystych pomieszczeń konieczne jest stosowanie systemów rozcieńczających.

Generatorzy aerozolu firmy Palas® dostarczają pożądany wąski zakres rozmiarów cząstek i tym samym nie zanieczyszczają niepotrzebnie testowanych filtrów. Generatorzy aerozolu Palas® są jednoznacznie charakteryzowani pod względem różnych parametrów ustawień. Odznaczają się wysoką stałością dozowania i powtarzalnością ustawień.

Również systemy rozcieńczające Palas® wyróżniają się jednoznaczną charakterystyką. Z tego powodu są opisane również w wytycznych VDI 3491 Bl. 16.
Systemy rozcieńczające Palas® można kaskadować, co umożliwia prostą i niezawodną realizację współczynników rozcieńczenia od 10 do 100 000. Dzięki kaskadowaniu można na miejscu przeprowadzić bezpieczny test funkcjonalny całego sprzętu aerozolowego.

Spektrometry aerozolowe Palas® posiadają dzięki źródłu światła białego i detekcji rozproszonego światła pod kątem 90° jednoznaczną krzywą kalibracyjną, co umożliwia pomiary z wysoką rozdzielczością i bardzo dobrą dokładnością klasyfikacji.

Produkty Palas sprawdziły się w zastosowaniach na całym świecie. Sprzedane sztuki:
Generatorów aerozolu: około 500
Systemów rozcieńczających: około 1000
Spektrometrów aerozolowych: około 140

Dalsze informacje można uzyskać od firmy Palas® GmbH:
mail@palas.de lub info@dr-lindenthal.de
Odwiedź również naszą stronę internetową: www.palas.de

Literatura
/1/ EN 1822
/2/ Technika czystych pomieszczeń, Metrologia w powietrzu czystym, VDI 2083 Arkusz 3
/3/ Metody charakteryzacji i monitorowania prób aerozolu, przegląd VDI 3489, Arkusz 1
/4/ Opticzny licznik cząstek, VDI 3489, Arkusz 3
/5/ Metody generowania prób aerozolu, VDI 3491, Arkusz 1-2
/6/ Gail, Lothar; Hortig, Hans-Peter: Technika czystych pomieszczeń, Berlin/ Heidelberg 2002


Więcej informacji


Palas® GmbH
76187 Karlsruhe
Niemcy


Lepsza informacja: ROCZNIK, NEWSLETTER, NEWSFLASH, NEWSEXTRA oraz KATALOG EKSPERTÓW

Bądź na bieżąco i subskrybuj nasz comiesięczny newsletter e-mail oraz NEWSFLASH i NEWSEXTRA. Dodatkowo dowiedz się z drukowanego ROCZNIKA, co dzieje się w świecie cleanroomów. A z naszego katalogu dowiesz się, kto jest EKSPERTEM w cleanroomie.

MT-Messtechnik Systec & Solutions GmbH Buchta Hydroflex