Composants high-tech nettoyés de manière fiable et durable dans la salle blanche

Les résidus de poudre formés lors de la découpe de wafers au laser sont éliminés efficacement par la technologie de jet de neige quattroClean. La propreté a été prouvée à l’aide d’un microscope numérique à l’aide de marques d’un diamètre extérieur de 0,4 mm. (Crédit photo : acp systems)

La synergie des mécanismes d'action de la technologie de jet de neige quattroClean permet d'éliminer de manière fiable et reproductible les contaminants particulaires jusqu'au domaine submicrométrique ainsi que les plus fines contaminations sous forme de films. (Source de l'image : acp systems) / Grâce à l'interaction des effets de la technologie de jet de neige quattroClean, les contaminants particulaires jusqu'à la plage submicrométrique ainsi que les plus fines contaminations sous forme de films sont éliminés de manière fiable et cohérente. (Crédit photo : acp systems)

La JetStation-HP, conçue et équipée pour une utilisation en salle blanche, a été développée pour des tâches de nettoyage flexibles avec les exigences de propreté les plus strictes. Elle est chargée manuellement et peut être exploitée en mode semi-automatique ou entièrement automatique en tant que solution autonome. (Crédit photo : acp systems)

La conception du processus, où tous les paramètres du processus sont précisément adaptés à l'application respective, aux propriétés du matériau, aux contaminations à éliminer ainsi qu'aux exigences de propreté, est réalisée dans le centre technique d'acp systems. (Source de l'image : acp systems)

Le nombre de pièces nécessitant un nettoyage en salle blanche en raison de spécifications de propreté plus strictes augmente continuellement – et ce dans de nombreux secteurs. Pour ces tâches, qui ne peuvent souvent pas être résolues par des procédés de nettoyage classiques, la technologie de nettoyage à sec par neige quattroClean permet un nettoyage adapté, reproductible et sec. Le système de nettoyage adapté à la classe de salle blanche peut être conçu pour un fonctionnement entièrement automatisé et intégré dans des lignes de production, ou fonctionner en semi-automatique ou manuellement en tant qu'installation autonome.

Des spécifications de propreté particulaire jusqu’au sous-micromètre et des exigences de pureté filmique extrêmement élevées rendent nécessaire, dans de plus en plus de secteurs industriels, le transfert des processus de nettoyage dans un environnement propre ou ultra-propre. Cela inclut des applications telles que le nettoyage de composants métalliques et optiques, notamment avant et après un revêtement, pour la technologie DUV et EUV dans l’industrie des semi-conducteurs, ainsi que le nettoyage de pièces structurales pour satellites géostationnaires en aérospatiale. Lors de la fabrication de microprocesseurs, après le découpage des wafers par laser ou scie en diamant, il faut éliminer les traces de copeaux ou les résidus de scie. En technologie des capteurs et en électronique, il s’agit d’une part d’optique et de boîtiers pour, par exemple, des systèmes d’aide à la conduite dans les véhicules et des caméras de smartphones, qui doivent rester parfaitement propres pour garantir leur fonctionnement à long terme. D’autre part, il s’agit du nettoyage des surfaces de contact avant le collage, ainsi que des composants électroniques déjà équipés, notamment avec des capteurs d’image. Pour des produits issus de la technologie médicale et de l’industrie pharmaceutique, tels que implants, instruments et solutions Lab-on-Chip, leur utilisation sûre dépend également de la propreté des pièces. Aussi variées que soient ces tâches de nettoyage, les spécifications de propreté exigées aujourd’hui ne peuvent plus être atteintes de manière fiable avec des procédés existants tels que le nettoyage à l’air comprimé, à la brosse ou par voie humide chimique.

Avec la neige vers une pureté maximale

Grâce à la technologie de nettoyage à sec par neige quattroClean, acp systems AG propose une solution propre à la salle blanche et éprouvée pour ces tâches. Le nettoyage se fait à sec avec du CO2 liquide, neutre en climat. Un élément essentiel pour une performance de nettoyage fiable est la bague à double fluide sans usure, par laquelle le dioxyde de carbone est dirigé. Lorsqu’il sort de la buse, il se détend en fines particules de neige. Celles-ci sont condensées par un jet d’air comprimé séparé et accélérées à une vitesse supersonique. Lors de l’impact du jet de nettoyage bien focalisé sur la surface à nettoyer, les quatre mécanismes d’action (effet thermique, mécanique, solvants et sublimation) de la technologie de nettoyage à sec par neige quattroClean garantissent l’élimination des contaminants particulaires jusqu’au sous-micromètre et des contaminations filmogènes de manière conforme aux exigences et reproductible.

Étant donné que le dioxyde de carbone cristallin sublime complètement pendant le nettoyage, les surfaces ou pièces restent sèches. Parallèlement, le nettoyage est effectué de manière douce pour le matériau, ce qui permet également de traiter des surfaces sensibles, délicates et finement structurées.

Conception du processus et de l’installation garantissant le résultat du nettoyage

La conception du processus pour un nettoyage complet ou partiel est réalisée dans le laboratoire d’essais d’acp systems par des essais. Tous les paramètres du processus, tels que les débits pour l’air comprimé et le dioxyde de carbone, le nombre de buses de projection, la zone et la durée du jet, sont précisément adaptés à chaque application, aux propriétés du matériau, aux contaminants à éliminer et aux exigences de propreté. Ils peuvent être enregistrés en tant que programmes de nettoyage spécifiques à chaque pièce dans le contrôle de l’installation. Pendant le nettoyage, une surveillance et un contrôle continus garantissent que chaque pièce est traitée avec des paramètres de processus validés.

La mise en œuvre et l’équipement des systèmes de nettoyage modulaires sont adaptés à chaque classe de salle blanche. Ils sont entièrement fabriqués en acier inoxydable et disposent de surfaces lisses et homogènes. La conception optimisée pour l’écoulement de la chambre de processus assure une évacuation rapide et ciblée des contaminants éliminés et du dioxyde de carbone sublimé via l’aspiration intégrée. Un traitement des médias adapté à la tâche garantit en outre la prévention des contaminations croisées et récurrentes.

Solutions pour le nettoyage intégré, semi-automatisé et manuel

Pour une adaptation optimale de la solution de nettoyage aux exigences et à la situation de production, acp systems propose différentes solutions modulaires et des systèmes conçus sur mesure. La JetCell-HP compacte a été développée pour un nettoyage flexible et automatisé. La cellule de nettoyage Plug and Play peut être facilement intégrée dans des environnements de production connectés ou utilisée comme solution autonome. Des interfaces intégrées permettent de connecter le système de nettoyage contrôlable numériquement à un système maître supérieur. Toutes les données recueillies lors de la surveillance et du contrôle du processus peuvent être automatiquement enregistrées et transmises au système maître. La JetStation-HP offre une cellule de nettoyage fermée pour une utilisation semi-automatisée ou manuelle. Dans ces alternatives adaptées à la salle blanche, toute la technologie du processus de neige ainsi que le traitement des médias sont intégrés dans un boîtier compact. Pour la mise en service, il suffit de raccorder le dioxyde de carbone et l’air comprimé.