Części wysokiej technologii czyszczone w warunkach czystego pomieszczenia, zapewniając procesową niezawodność i zrównoważony rozwój

Resztki pyłu powstałe podczas cięcia wafli laserem są skutecznie usuwane za pomocą technologii strumienia śniegu quattroClean. Dowód czystości został potwierdzony za pomocą mikroskopu cyfrowego na podstawie oznaczeń o średnicy zewnętrznej 0,4 mm. (Źródło zdjęcia: acp systems) / The residual powder formed during wafer dicing with lasers is removed effectively by the quattroClean snow jet technology. Cleanliness was proven using a digital microscope with marks with an external diameter of 0.4 mm. (Photo credit: acp systems)

Współdziałanie mechanizmów działania technologii quattroClean do strumienia śniegowego umożliwia skuteczne i powtarzalne usuwanie zanieczyszczeń cząsteczkowych aż do zakresu submikrometrowego oraz najdrobniejszych zanieczyszczeń filmowych. (Źródło obrazu: acp systems) / Thanks to the interaction of the effects of the quattroClean snow jet technology, particulate contamination down to the submicrometer range as well as the finest filmic contamination is removed reliably and consistently. (Photo credit: acp systems)

Die reinraumgerecht ausgelegte und ausgestattete JetStation-HP wurde für die flexible Reinigung bei höchsten Anforderungen an die Sauberkeit entwickelt. Sie wird manuell beladen und kann automatisiert oder teilautomatisiert als Standalone-Lösung betrieben werden. (Bildquelle: acp systems) / The JetStation-HP, designed and equipped for cleanroom use, was developed for flexible cleaning tasks with the highest cleanliness requirements. It is loaded manually and can be operated in partially or fully automated mode as a stand-alone solution. (Photo credit: acp systems)

Opracowanie procesu, w którym wszystkie parametry procesu są precyzyjnie dostosowane do danej aplikacji, właściwości materiału, usuwanych zanieczyszczeń oraz wymagań dotyczących czystości, odbywa się w centrum technicznym firmy acp systems. (Źródło zdjęcia: acp systems)

Ilość elementów, które ze względu na bardziej rygorystyczne specyfikacje czystości wymagają czyszczenia w czystym pomieszczeniu, stale rośnie – i to w wielu branżach. W tych zadaniach, które zwykle nie mogą być rozwiązane za pomocą tradycyjnych metod czyszczenia, trwała technologia strumienia śniegu quattroClean umożliwia czyszczenie dostosowane do potrzeb, powtarzalne i suche. System czyszczenia dostosowany do klasy czystości w pomieszczeniu może być zaprojektowany do pełnej automatyzacji i integracji z liniami produkcyjnymi, a także działać jako samodzielny, półautomatyczny lub ręczny system.

Specyfikacje czystościowe sięgające submikrometrowych zakresów i ekstremalnie wysokie wymagania dotyczące czystości filmowej sprawiają, że coraz więcej branż musi przenieść procesy czyszczenia do czystego lub czystego środowiska. Do takich zastosowań należą m.in. czyszczenie metalowych i optycznych komponentów, zarówno przed, jak i po powłokowaniu, dla technologii DUV i EUV w branży półprzewodnikowej, jak również czyszczenie elementów strukturalnych dla satelitów geostacjonarnych w technice kosmicznej. Przy produkcji mikroczipów, po dicingu wafli laserem lub piłą diamentową, konieczne jest usunięcie śladów pyłu lub pozostałości po cięciu. W technice czujników i elektronice, z jednej strony, optyki i obudowy dla systemów wspomagających w pojazdach i kamer w smartfonach muszą być bardzo czyste, aby zapewnić trwałą, niezawodną funkcję. Z drugiej strony, chodzi o czyszczenie powierzchni kontaktowych przed procesem bondowania oraz elementów elektronicznych, które są już zamontowane, między innymi z obrazowymi czujnikami. W produktach z branży medycznej i farmaceutycznej, takich jak implanty, narzędzia i rozwiązania Lab on Chip, ich bezpieczne użytkowanie również zależy od czystości elementów. Pomimo tak dużej różnorodności zadań czyszczących, obecnie wymagane specyfikacje czystości nie mogą być już osiągnięte w sposób bezpieczny procesowo za pomocą dotychczas stosowanych metod, takich jak czyszczenie sprężonym powietrzem, szczotkami czy metodami mokrochemicznymi.

Z śniegiem do najwyższej czystości

Za pomocą skalowalnej technologii strumienia śniegu quattroClean, acp systems AG oferuje rozwiązanie czystościowe zgodne z wymaganiami czystych pomieszczeń i sprawdzone. Czyszczenie odbywa się w sposób suchy, przy użyciu płynnego, klimatycznie neutralnego CO2. Kluczowym elementem zapewniającym niezawodną wydajność czyszczenia jest bezawaryjna dwuskładnikowa pierścieniowa dysza, przez którą przepływa dwutlenek węgla. Podczas opuszczania dyszy, rozpręża się on do drobnych cząstek śniegu. Są one skupiane przez oddzielny strumień sprężonego powietrza i przyspieszane do prędkości naddźwiękowej. Po uderzeniu dobrze skupionego strumienia czyszczącego w czyszczoną powierzchnię, cztery mechanizmy działania (efekt termiczny, mechaniczny, rozpuszczalnikowy i sublimacyjny) technologii strumienia śniegu quattroClean zapewniają, że cząstki zanieczyszczeń, nawet do submikrometrowych rozmiarów, oraz filmowe zanieczyszczenia są usuwane w sposób zgodny z wymaganiami i powtarzalny.

Ponieważ krystaliczny dwutlenek węgla podczas czyszczenia całkowicie sublimuje, powierzchnie lub elementy pozostają suche. Jednocześnie czyszczenie jest łagodne dla materiałów, co pozwala na obróbkę także delikatnych, cienkich i strukturalnie skomplikowanych powierzchni.

Projekt i wyposażenie systemu zapewniające wynik czyszczenia

Projekt procesu czyszczenia, obejmujący czyszczenie całościowe lub częściowe, jest opracowywany w laboratorium acp systems na podstawie prób. Wszystkie parametry procesu, takie jak przepływy objętościowe sprężonego powietrza i dwutlenku węgla, liczba dysz strumieniowych, zakres i czas strumienia, są dokładnie dostosowane do konkretnej aplikacji, właściwości materiału, rodzaju zanieczyszczeń do usunięcia oraz wymagań dotyczących czystości. Mogą być one zapisane jako programy czyszczenia specyficzne dla części w sterowaniu urządzeniem. Podczas czyszczenia, nieprzerwana kontrola i nadzór procesu zapewniają, że każda część jest traktowana zgodnie z zatwierdzonymi parametrami.

Wykonanie i wyposażenie modułowych systemów czyszczących jest dostosowane do danej klasy czystości w pomieszczeniu. Są one wykonane w całości ze stali nierdzewnej i mają gładkie, jednorodne powierzchnie. Optymalizowany pod kątem przepływu projekt komory procesu zapewnia szybkie i celowe usuwanie zanieczyszczeń oraz sublimowanego dwutlenku węgla poprzez zintegrowany system odciągowy. Dostosowane do zadań media przygotowuje się w taki sposób, aby zapobiec krzyżowej i re-kontaminacji.

Rozwiązania dla zintegrowanego, półautomatycznego i ręcznego czyszczenia

Aby zapewnić optymalne dopasowanie rozwiązania czyszczącego do wymagań i sytuacji produkcyjnej, acp systems oferuje różne modułowe rozwiązania i indywidualnie zaprojektowane systemy. Kompaktowa JetCell-HP została opracowana do elastycznego, zautomatyzowanego czyszczenia. Kompaktowa komora czyszcząca typu Plug and Play może być łatwo zintegrowana z połączonymi środowiskami produkcyjnymi lub działać jako system samodzielny. Zintegrowane interfejsy umożliwiają podłączenie cyfrowo sterowanego systemu czyszczenia do nadrzędnego systemu sterowania. Wszystkie dane z monitorowania i nadzoru procesu mogą być automatycznie rejestrowane i przesyłane do systemu nadrzędnego. Z kolei JetStation-HP to zamknięta komora czyszcząca do półautomatycznego lub ręcznego działania. W tych czystoprzestrzennych alternatywach, cała technologia do procesu strumienia śniegu oraz przygotowania mediów jest również zintegrowana w smukłej obudowie systemu. Do uruchomienia wystarczy podłączenie dwutlenku węgla i sprężonego powietrza.