Activer les surfaces avec des sources de plasma flexibles et maniables

Source de plasma compacte et atmosphérique dans la bande ISM de 2,45 GHz, adaptée notamment à l'activation de surface ou à des applications médicales. (© FBH/D. Wolf) / Source de plasma compacte et atmosphérique dans la bande ISM de 2,45 GHz, adaptée par exemple à l'activation de surface ou à des applications médicales. (© FBH/D. Wolf)

Source lumineuse pulsée compacte offrant des impulsions flexibles dans la gamme picoseconde et nanoseconde avec des énergies en nanojoules. (© FBH/P. Immerz) / Source de lumière pulsée compacte délivrant des impulsions flexibles dans la gamme picoseconde et nanoseconde avec des énergies en nanojoules. (© FBH/P. Immerz)

Lors du salon professionnel SEMICON Europe à Munich, l'Institut Ferdinand-Braun, Institut Leibniz pour la technologie des hautes fréquences (FBH), présente du 13 au 16 novembre 2018 ses nouveautés et développements récents. L'institut se positionne sur le stand commun de la « Fabrikations de recherche en microélectronique Allemagne » dans le Hall A4, stand 504.

Sur le stand, le FBH présente notamment une source de plasma atmosphérique compacte, adaptée par exemple au traitement de surfaces et à l'intégration dans des machines de production ou de processus. Sur place, des surfaces d'essai sont activées à titre d'exemple pour les préparer, par exemple, à l'impression ou au revêtement. La source, fonctionnant dans la bande ISM de 2,45 GHz, se compose d’un oscillateur de puissance micro-ondes, d’un résonateur pour l’activation du plasma et de l’électronique de commande, tous intégrés dans un boîtier compact. L’alimentation du milieu de plasma (air, oxygène, argon, ...) ainsi que du liquide de refroidissement est conçue de manière flexible, permettant une intégration aussi bien manuelle (par exemple en médecine) que dans des machines de production ou de processus (par exemple dans l’industrie de l’impression ou les équipements de revêtement). La source de plasma délivre une puissance d’environ 20 W, suffisante pour de nombreuses applications.

Sur le stand, une source de lumière pulsée tout-en-un (PLS) est également présentée, combinant deux compétences clés du FBH : des diodes laser sur mesure pour la génération d’impulsions, associées à des composants à haute vitesse optimisés pour la commande. La PLS fournit des impulsions très précises dans la plage picoseconde et nanoseconde avec des énergies en nanojoules. La durée, la fréquence, la distance entre les impulsions ainsi que la fréquence de répétition peuvent être ajustées de manière flexible. Le système laser offre des fréquences de sortie sélectionnables allant de Hertz à plusieurs mégahertz, avec des pics de puissance pouvant atteindre 50 watts. Ce système tout-en-un peut être contrôlé par ordinateur, avec plusieurs modes d’impulsions, et s’intègre facilement dans divers systèmes laser.

De plus, le FBH présente un démonstrateur d’une tête de test différentiel sans potentiel pour la mesure de courants élevés. Avec cet adaptateur de mesure pour oscilloscopes, il est possible de mesurer galvanomètriquement des signaux électriques différentiels dans la plage de fréquence de DC à plus de 1 GHz, même en présence d’un bruit de mode commun élevé. Un autre exposé montre des puces hétéro-integrees pour des applications dans le domaine du térahertz, combinant les avantages de deux mondes technologiques à l’échelle de la puce : les hautes puissances de sortie de l’indium phosphure avec la complexité de la technologie silicium.