Felületek aktiválása rugalmas és kézben tartható plazsforrásokkal

Kompakte, atmoszférikus plazmaforrás a 2,45 GHz-es ISM sávban, például felületi aktiválásra vagy orvosi alkalmazásokhoz alkalmas. (© FBH/D. Wolf) / Compact, atmospheric plasma source in the 2.45 GHz ISM band, suited e.g. for surface activation or medial applications. (© FBH/D. Wolf)

Kompakte Pulslichtquelle liefert flexible Pulse im Piko- und Nanosekundenbereich mit Nanojoule-Energien. (© FBH/P. Immerz) / Kompakte Pulslichtquelle, die flexible Pulse im Pikosekunden- und Nanosekundenbereich mit Nanojoule-Energien liefert. (© FBH/P. Immerz)

Az Münchenben megrendezett SEMICON Europa szakkiállításon a Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik (FBH) 2018. november 13. és 16. között bemutatja a legújabb fejlesztéseket és továbbfejlesztéseket. Az intézet a „Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland” közös standján, A4 csarnokban, 504-es standnál mutatkozik be.

A kiállítási standon az FBH többek között egy kompakt atmoszférikus plazmákforrást mutat be, amely például felületek kezelésére és integrálására alkalmas gyártási vagy folyamatgépekbe. Helyszínen például tesztfelületeket aktiválnak, hogy például nyomtatásra vagy bevonásra készítsék azokat. A 2,45 GHz-es ISM-sávban működő forrás egy mikrohullámú teljesítésszabályozóból, egy rezonátorból a plazma gerjesztésére és az irányító elektronikából áll, amelyek egy kompakt házban vannak integrálva. A plazmamédium (levegő, oxigén, argon, stb.) és a hűtőközeg szállítása rugalmasan megvalósított, így a forrás kézi (például orvosi alkalmazásokban) vagy gyártási- vagy folyamatgépekbe (például nyomdai ipar, bevonóberendezések) is beépíthető. A plazmákforrás teljesítménye körülbelül 20 W, ami sok alkalmazás számára elegendő.

A kiállításon egy All-in-One impulzusforrást (PLS) is bemutatnak, amely két fő kompetenciát ötvöz az FBH-tól: egyéni igények szerint kialakított diódalézereket impulzusok generálására, valamint optimalizált nagysebességű komponenseket a vezérléshez. A PLS rendkívül pontos impulzusokat szolgáltat piko- és nanosekundumos tartományban, nanojoule energiákkal. Az impulzusenergia, -hossz, -közötti távolság és ismétlődési frekvenciák rugalmasan beállíthatók. A lézeres rendszer szabadon választható sorozatfrekvenciákat kínál Hertz-től akár megahertz tartományig, és impulzussúlyokat akár 50 wattig. A rendszer számítógéppel vezérelhető, több impulzus mód között váltva, és könnyen integrálható különböző lézerrendszerekbe.

Ezenkívül az FBH bemutatja egy potenciálmentes differenciális mérőfej demonstrátorát, amely magas áramok mérésére alkalmas. Ezzel a mérőadapterrel oszcilloszkópokhoz galvanikusan szétválasztva mérhetők a differenciális elektromos jelek a DC-től több mint 1 GHz-es frekvenciatartományban – még akkor is, ha magas közös módusú feszültség áramlik át rajta. Továbbá kiállítási tárgyként heterointegrált chipeket mutatnak be terahertzes alkalmazásokhoz, amelyek két technológia előnyeit egyesítik a chipeken: az indium-foszfid magas kimeneti teljesítményét és a szilíciumtechnológia összetettségét.