Aktivieren Sie Oberflächen mit flexiblen a handlichen Plasmaquellen

Kompakte, atmosférická plazmová zdroj v pásmu ISM 2,45 GHz, vhodný například pro aktivaci povrchů nebo medicínské aplikace. (© FBH/D. Wolf) / Compact, atmospheric plasma source in the 2.45 GHz ISM band, suited e.g. for surface activation or medical applications. (© FBH/D. Wolf)

Kompakte Pulslichtquelle liefert flexible Pulse im Piko- und Nanosekundenbereich mit Nanojoule-Energien. (© FBH/P. Immerz) / Kompaktní pulzní zdroj světla poskytující flexibilní pulzy v rozsahu pikosekund a nanosekund s energií v nanojoulech. (© FBH/P. Immerz)

Na veletrhu SEMICON Europa v Mnichově představí Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik (FBH) od 13. do 16. listopadu 2018 aktuální novinky a další vývoj. Institut se představí na společném stánku „Výzkumná továrna mikroelektroniky Německo“ v hale A4, stánek 504.

Na stánku ukáže FBH mimo jiné kompaktní atmosférický plazmový zdroj, který je například vhodný pro úpravu povrchů a integraci do výrobních nebo procesních strojů. Na místě budou například aktivovány testovací povrchy, aby je bylo možné připravit například k tisku nebo nanášení vrstev. Zdroj v pásmu 2,45 GHz-ISM sestává z mikrovlnného výkonového oscilátoru, resonátoru pro aktivaci plazmatu a řídicí elektroniky, které jsou integrovány v kompaktním pouzdru. Přívod plazmového média (vzduch, kyslík, argon, …) a chladicího média je realizován tak flexibilně, že může být použit jak manuálně (například v medicíně), tak i v výrobních nebo procesních strojích (například v tiskařském průmyslu, nanášecích zařízeních). Plazmový zdroj dosahuje výkonu kolem 20 W, což je dostačující pro mnoho aplikací.

Na stánku je dále k vidění all-in-one pulzní zdroj světla (PLS), který spojuje dvě klíčové kompetence FBH: na míru přizpůsobené diodové lasery pro tvorbu impulsů ve spojení s optimalizovanými vysokorychlostními komponentami pro řízení. PLS dodává vysoce přesné pulzy v pikosekundovém a nanosekundovém rozsahu s nanojoule energií. Energie pulzu, délka, interval a opakovací frekvence jsou přizpůsobitelné. Laserový systém nabízí volitelnou sledovací frekvenci od Hertzů až po megahertzové oblasti a pulzní špičkový výkon až do 50 wattů. Tento all-in-one systém lze počítačem řídit v několika režimech pulzů a snadno jej integrovat do různých laserových systémů.

Kromě toho představí FBH demonstrační model bezpotenciálního diferenčního měřicího hlavičkového adaptéru pro měření vysokých proudů. S tímto měřicím adaptérem pro osciloskopy lze galvanicky odděleně měřit diferenciální elektrické signály v rozsahu frekvencí od DC po více než 1 GHz – i při přepětí vysokým společným režimem. Jako další exponát jsou k vidění heterointegrované čipy pro terahertzové aplikace, které spojují výhody dvou technologických světů na úrovni čipu: vysoké výstupní výkony indiumfosfidových technologií s komplexností silikonové technologie.