Siemens Healthineers eröffnet Photon-counting Sensor Fab in Forchheim

In der Reinraumfertigung werden Wafer in Nassbänken bearbeitet. Orangefarbenes Licht schützt die lichtempfindlichen Fotolacke vor einer unbeabsichtigten Belichtung.

Waferbearbeitung im Reinraum. Orangefarbenes Licht wird eingesetzt, um eine Belichtung des Fotolacks durch Tageslicht zu verhindern.

In der Photon-counting Sensor Fab von Siemens Healthineers in Forchheim werden in speziellen Öfen Einkristalle gezüchtet.

Hochpräzise Sägen vereinzeln Wafer.

Cadmiumtellurid-Wafer werden im Reinraum bearbeitet.

Wafer werden zur weiteren Verarbeitung in einer Nassbank vorbereitet.

Feierliche Eröffnung Photon-counting Sensor Fab in Forchheim am 11. September 2026.

Feierliche Eröffnung Photon-counting Sensor Fab in Forchheim am 11. September 2026.

– Entwicklung und Herstellung von Sensoren für quantenzählende Computertomographen 
– Züchtung von Kristallen im industriellen Maßstab 
– Feierliche Eröffnung mit 300 Gästen

Siemens Healthineers eröffnete am 11.09.2029 am Standort Forchheim seine in Europa einzigartige Semiconductor Fabrication Plant. In der Photon-counting Sensor Fab stellt das Unternehmen Halbleitersensoren für Röntgenstrahlung auf Basis von Cadmiumtellurid (CdTe) her. Die Sensoren werden in quantenzählenden Computertomographen (Photon-Counting CT) verwendet, die dadurch schärfere Bilder bei geringerer Röntgenstrahlendosis erzeugen können. Zur Eröffnungsfeier begrüßte Bernd Montag, CEO von Siemens Healthineers, etwa 300 Gäste aus Gesundheitswesen und Politik, Projektbeteiligte sowie Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter. Die Fabrik mit einer Nutzfläche von etwa 9.500 Quadratmetern wird zukünftig tonnenweise Cadmium und Tellur von höchster Reinheit verarbeiten. Zur umweltverträglichen Handhabung von Gefahrstoffen investierte Siemens Healthineers eine einstellige Millionensumme für eine Abluft- sowie eine Abwasserreinigungsanlage. Für den Bau und die technische Ausstattung investierte Siemens Healthineers rund 100 Millionen Euro und schafft über 100 neue Arbeitsplätze. Die Bauarbeiten begannen 2023 und wurden jetzt abgeschlossen.

Mit der steigenden Nachfrage nach photonenzählenden Computertomographen stößt die bisherige Produktionsanlage von Siemens Healthineers für Halbleitersensoren in Japan an ihre Kapazitätsgrenzen. „Wir wollen keine Ein-Standort-Strategie in Japan verfolgen, sondern auch hier im Zentrum der CT-Entwicklung in Forchheim in der Lage sein, im industriellen Maßstab Kristalle zu fertigen“, betont Uwe Rückl, Leiter CT Detectors & Crystals bei Siemens Healthineers. „Die Sensoren herzustellen ist komplex und aufwendig, der Prozess beinhaltet viele Einzelschritte.“ Die Photon-counting Sensor Fab bildet den gesamten Prozess ab, von der Graphitbeschichtung der Quarzteile, der Bildung von Keim- und Polykristallen über das kontrollierte Kristallwachstum. Die Ausgangsstoffe Cadmium und Tellur verschmelzen erst bei rund 1100 Grad Celsius dauerhaft miteinander. Es dauert rund zehn Wochen, bis aus der Cadmium-Tellur-Verbindung der eigentliche Einkristall erwächst. Die gezüchteten Kristalle werden schließlich submillimetergenau geschnitten und poliert, bevor im Reinraum die Pixelstruktur lithografisch aufgebracht wird. Die fertigen Sensoren werden in der CT-Fertigung in photonenzählende Computertomographen verbaut.

Das neue Gebäude in Forchheim hat die „LEED Platin“-Zertifizierung und wird nachhaltig CO2-neutral betrieben. So wird beispielweise die Abwärme aus der Produktion genutzt, um das Gebäude zu heizen, und eigener Strom mit einer 170kWp-Photovoltaikanlage auf dem Dach erzeugt. Die umweltgerechte Gestaltung der Außenanlagen, helle versiegelte Flächen und eine schattenspendende Begrünung verhindern Wärmeinseleffekte und das Aufheizen des Gebäudes. Bei der Pflanzenauswahl setzte Siemens Healthineers auf heimische, standortgerechte Arten, um die lokale Biodiversität zu fördern. Diese unterstützt ein innovatives Beleuchtungskonzept mit LED-Technik, und die reduzierte Beleuchtung der Außenanlagen vermeidet Lichtverschmutzung und schützt so nachtaktive Tiere.