Siemens Healthineers opent Photon-counting Sensor Fab in Forchheim

In de cleanroomproductie worden wafers in natte banken bewerkt. Oranje licht beschermt de lichtgevoelige fotolakken tegen onbedoelde belichting.

Waferverwerking in de cleanroom. Oranje licht wordt gebruikt om te voorkomen dat de fotolak door daglicht wordt belicht.

In de Photon-counting-sensorfabriek van Siemens Healthineers in Forchheim worden in speciale ovens eenkristallen gekweekt.

Hoogprecisiezagen singuleren wafers.

Cadmiumtelluridewafers worden in de cleanroom verwerkt.

Wafers worden voorbereid voor verdere verwerking in een natte bank.

Feestelijke opening van de fabriek voor photon-counting-sensoren in Forchheim op 11 september 2026.

Feestelijke opening van de fabriek voor fotonentellende sensoren in Forchheim op 11 september 2026.

– Ontwikkeling en productie van sensoren voor fotonentellende computertomografen 
– Kristalgroei op industriële schaal 
– Feestelijke opening met 300 gasten

Siemens Healthineers opende op 11-09-2029 op de locatie Forchheim zijn in Europa unieke Semiconductor Fabrication Plant. In de Photon-counting Sensor Fab produceert het bedrijf halfgeleidersensoren voor röntgenstraling op basis van cadmiumtelluride (CdTe). De sensoren worden gebruikt in fotonentellende computertomografen (Photon-Counting CT), die daardoor scherpere beelden kunnen genereren bij een lagere röntgenstralingsdosis. Tijdens de openingsceremonie verwelkomde Bernd Montag, CEO van Siemens Healthineers, ongeveer 300 gasten uit de gezondheidszorg en de politiek, projectbetrokkenen en medewerkers. De fabriek, met een gebruiksoppervlakte van ongeveer 9.500 vierkante meter, zal in de toekomst tonnen cadmium en tellurium van de hoogste zuiverheid verwerken. Voor een milieuvriendelijke omgang met gevaarlijke stoffen investeerde Siemens Healthineers een bedrag van enkele miljoenen euro’s in een installatie voor de zuivering van afvoerlucht en een afvalwaterzuiveringsinstallatie. Voor de bouw en technische uitrusting investeerde Siemens Healthineers ongeveer 100 miljoen euro en creëert het bedrijf meer dan 100 nieuwe arbeidsplaatsen. De bouwwerkzaamheden begonnen in 2023 en zijn nu afgerond.

Door de toenemende vraag naar fotonentellende computertomografen bereikt de bestaande productie-installatie van Siemens Healthineers voor halfgeleidersensoren in Japan haar capaciteitsgrenzen. “We willen geen single-site-strategie in Japan volgen, maar ook hier, in het centrum van de CT-ontwikkeling in Forchheim, in staat zijn om op industriële schaal kristallen te produceren”, benadrukt Uwe Rückl, hoofd CT Detectors & Crystals bij Siemens Healthineers. “Het vervaardigen van de sensoren is complex en arbeidsintensief; het proces omvat veel afzonderlijke stappen.” De Photon-counting Sensor Fab omvat het volledige proces, van het bekleden van de kwartsonderdelen met grafiet en de vorming van kiem- en polykristallen tot de gecontroleerde kristalgroei. De uitgangsstoffen cadmium en tellurium versmelten pas bij ongeveer 1100 graden Celsius permanent met elkaar. Het duurt ongeveer tien weken voordat uit de cadmium-telluurverbinding het eigenlijke monokristal groeit. De gekweekte kristallen worden uiteindelijk met een nauwkeurigheid op submillimeterniveau gesneden en gepolijst, waarna de pixelstructuur in de cleanroom lithografisch wordt aangebracht. De voltooide sensoren worden in de CT-productie in fotonentellende computertomografen ingebouwd.

Het nieuwe gebouw in Forchheim heeft de certificering “LEED Platina” en wordt duurzaam CO2-neutraal geëxploiteerd. Zo wordt bijvoorbeeld de restwarmte uit de productie gebruikt om het gebouw te verwarmen en wordt met een fotovoltaïsche installatie van 170 kWp op het dak eigen elektriciteit opgewekt. De milieuvriendelijke inrichting van de buitenanlagen, lichte verharde oppervlakken en schaduwrijke beplanting voorkomen hitte-eilandeffecten en het opwarmen van het gebouw. Bij de keuze van de planten zette Siemens Healthineers in op inheemse, bij de locatie passende soorten om de lokale biodiversiteit te bevorderen. Deze wordt ondersteund door een innovatief verlichtingsconcept met ledtechnologie, en de beperkte verlichting van de buitenanlagen voorkomt lichtvervuiling en beschermt zo nachtdieren.