Monitoring a kisméretű környezetben

Összefoglalás
A minienvironment-technológia folyamatos fejlődésével, amelyben a drága, magas színvonalú tisztaterek helyett kis helyi egységek kerülnek alkalmazásra, egyre inkább felmerül a kérdés a minienvironment monitorozásával kapcsolatban. Ebben a folyamatban a hagyományos tisztaterekben szerzett tapasztalatokat fel lehet használni, és a minienvironment-technológiához speciális alkalmazkodásokkal lehet ezeket a tapasztalatokat adaptálni. Új problémák és követelmények merülnek fel, amelyek a hagyományos tisztaterekben nem fordultak elő ilyen formában.
- A minienvironment meghatározása
- A minienvironment típusai
- Monitorozás a minienvironmentben
- Részecske méretek
- Nyomáskülönbség
- Hőmérséklet, páratartalom, mikroorganizmusok száma, légsebesség
Mérőtechnika
- Részecskemérés
- Nyomáskülönbség mérés
- Modularitás a monitorozórendszer felépítésében a minienvironmentben
- Részecskemérés
- Nyomáskülönbség mérés
- Hőmérséklet- és páratartalom monitorozás
- Szoftver
Részletes ismertető a csatolt pdf-ben