Monitorování v mini prostory

Shrnutí
S pokračujícím rozvojem technologie minienvironment, kdy jsou nákladné vysoce kvalitní čisté prostory nahrazovány malými lokálními jednotkami, roste otázka monitorování v minienvironment. Přitom lze využít zkušenosti s monitorováním v běžných čistých prostorách a přizpůsobit je specifickým požadavkům technologie minienvironment. Objevují se nové problémy a požadavky, které se v běžných čistých prostorách v této podobě nevyskytovaly.
- Definice minienvironmentu
- Druhy minienvironmentu
- Monitorování v minienvironmentu
- Velikosti částic
- Diferenciální tlak
- Teplota, vlhkost, počet mikroorganismů, rychlost vzduchu
Měřící technika
- Měření částic
- Měření diferenčního tlaku
- Modulární uspořádání monitorovacího systému v minienvironmentu
- Monitorování částic
- Monitorování diferenčního tlaku
- Monitorování teploty a vlhkosti
- Software
Podrobné informace v přiloženém pdf