Monitoraggio nell'ambiente ridotto

Sommario
Con l'avanzare sempre più rapido della tecnologia Minienvironment, in cui le costose camere bianche di alta qualità vengono sostituite da piccole unità locali, si pone in modo crescente la domanda di un monitoraggio nel Minienvironment. In questo contesto, è possibile utilizzare le esperienze del monitoraggio nelle camere bianche tradizionali e adattarle tramite specifiche modifiche alla tecnologia Minienvironment. Emergono nuovi problemi e requisiti che in questa forma non si presentavano nelle camere bianche tradizionali.
- Definizione del Minienvironment
- Tipi di Minienvironment
- Sorveglianza nel Minienvironment
- Dimensioni delle particelle
- Differenziale di pressione
- Temperatura, umidità, numero di germi, velocità dell'aria
Tecnologia di misura
- Tecnologia di misura delle particelle
- Tecnologia di misura della differenza di pressione
- Struttura modulare di un sistema di monitoraggio nel Minienvironment
- Monitoraggio delle particelle
- Monitoraggio della differenza di pressione
- Monitoraggio di temperatura e umidità
- Software
Dettagliate spiegazioni nel PDF allegato