Monitorowanie w środowisku minimalnym

Podsumowanie
W miarę postępu technologii minienvironment, w której kosztowne, wysokiej jakości pomieszczenia czyste są zastępowane przez małe, lokalne jednostki, coraz bardziej pojawia się pytanie o monitoring w minienvironment. Doświadczenia z monitoringu w tradycyjnych pomieszczeniach czystych mogą być wykorzystane i dostosowane do technologii minienvironment poprzez specyficzne modyfikacje. Pojawiają się nowe problemy i wymagania, które nie występowały w tradycyjnych pomieszczeniach czystych w tej formie.
- Definicja minienvironment
- Rodzaje minienvironment
- Nadzór w minienvironment
- Wielkości cząstek
- Różnica ciśnień
- Temperatura, wilgotność, liczba drobnoustrojów, prędkość powietrza
Technika pomiarowa
- Pomiar wielkości cząstek
- Pomiar różnicy ciśnień
- Modularna budowa systemu monitorującego w minienvironment
- Monitoring cząstek
- Monitoring różnicy ciśnień
- Monitoring temperatury i wilgotności
- Oprogramowanie
Szczegółowe informacje w załączonym pliku PDF