Monitoring in de Mini-Umgebung

Samenvatting
Door de voortdurende vooruitgang van de minienvironment-technologie, waarbij dure hoogwaardige cleanrooms worden vervangen door kleine lokale eenheden, rijst steeds meer de vraag naar monitoring in het minienvironment. De ervaring met monitoring in conventionele cleanrooms kan worden gebruikt en door specifieke aanpassingen op de minienvironment-technologie worden afgestemd. Er ontstaan nieuwe problemen en eisen die in deze vorm niet in conventionele cleanrooms voorkwamen.
- Definitie van het minienvironment
- Soorten minienvironments
- Toezicht in het minienvironment
- Partikelgroottes
- Differentiële druk
- Temperatuur, vochtigheid, microbieel aantal, luchtsnelheid
Meettechniek
- Partikelmetingen
- Differentiële drukkingsmetingen
- Modulaire opbouw van een monitorsysteem in het minienvironment
- Partikelmonitoring
- Differentiële drukkingsmonitoring
- Temperatuur- en vochtigheidsmonitoring
- Software
Gedetailleerde uitleg in de bijgevoegde pdf