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Techniques d'assurance qualité en technologie de salle blanche

Les techniques d'étanchéité pour la garantie de la qualité désignent toutes les techniques relatives aux salles blanches locales, aux environnements miniatures, etc. La technique de salle blanche au sens de cet article englobe toutes les mesures visant à réduire la contamination. Les contaminants ne sont pas seulement des impuretés sous forme de particules provenant de médias de procédé tels que l'air, l'eau DI et d'autres gaz et liquides, mais aussi des impuretés ioniques non particulaires, des influences de rayonnement électromagnétique, la température, l'humidité, l'électricité statique, etc.
Le cocktail d'influences peut être le plus facilement maîtrisé en essayant de limiter la portée des différentes influences par des barrières physico-chimiques autant que possible. Un exemple en est les boîtes SMIF dans la technologie des semi-conducteurs et le CIP/SIP dans les techniques de stérilisation.
Dans les différents domaines d'application de la technique de salle blanche, il existe une diversité relative de termes, bien qu'il s'agisse souvent du même phénomène brièvement évoqué ci-dessus, à savoir la limitation de la contamination. Il convient de mettre en évidence les similitudes et de relier les différentes terminologies courantes. Pour construire et maintenir des systèmes de salle blanche à l'abri des erreurs, ainsi que pour passer d'une approche « post-mortem » à une approche « préventive », il est également nécessaire de vérifier en continu les systèmes délimités. Cependant, lors de l'échantillonnage, que ce soit par la technique de mesure ou par le traitement ultérieur des données, il arrive souvent que l'influence de ces processus affecte la grandeur de mesure souhaitée, rendant la vérification de la faible contamination difficile.
Il sera montré, à l'aide de la microélectronique et de l'exemple des techniques de stérilisation, comment et sous quelle forme les techniques d'étanchéité peuvent contribuer à la facilité d'erreur.
Des détails sont fournis dans le PDF ci-joint.

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