Técnicas de inspección para garantizar la calidad en la tecnología de salas limpias

Las técnicas de cierre para garantizar la calidad comprenden todas las técnicas para salas limpias locales, minienvironments, etc. La tecnología de salas limpias en el sentido de este artículo se refiere a todas las medidas para reducir la contaminación. Los contaminantes no son solo partículas en forma de contaminantes en medios de proceso como aire, agua DI y otros gases y líquidos, sino también contaminantes iónicos no particulados, influencias de radiación electromagnética, temperatura, humedad, electricidad estática, etc.
La mezcla de influencias se controla más fácilmente intentando mantener el alcance de diferentes influencias lo más pequeño posible mediante barreras físico-químicas. Ejemplos de esto son las cajas SMIF en la tecnología de semiconductores y CIP/SIP en las técnicas de esterilización.
En los diferentes ámbitos de aplicación de la tecnología de salas limpias existe una variedad relativa de términos, aunque a menudo se trata del mismo hecho mencionado brevemente anteriormente sobre la delimitación de la contaminación. Se intentará destacar las similitudes y conectar las denominaciones comunes. Para construir y mantener sistemas de salas limpias que sean tolerantes a errores y pasar de un enfoque 'postmortem' a uno 'preventivo', también es necesario revisar continuamente los sistemas delimitados. Sin embargo, a menudo, especialmente en la toma de muestras, mediante la técnica de medición o el procesamiento posterior de datos, se puede influir en la magnitud de medición deseada, de modo que la verificación significativa de la baja contaminación presenta dificultades.
Se mostrará cómo las técnicas de cierre pueden contribuir a la tolerancia a errores, utilizando la microelectrónica y el ejemplo de las técnicas de esterilización.
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