Insluittechnieken voor kwaliteitsborging in de cleanroomtechniek

Onder sluittechnieken voor kwaliteitsborging verstaat men alle technieken voor lokale cleanrooms, minienvironments enzovoort. Onder cleanroomtechniek in de zin van dit artikel worden alle maatregelen verstaan ter vermindering van contaminatie. Als contaminanten worden niet alleen deeltjesvormige verontreinigingen van procesmedia zoals lucht, DI-water en andere gassen en vloeistoffen beschouwd, maar ook niet-deeltjesvormige ionische verontreinigingen, invloeden van elektromagnetische straling, temperatuur, vochtigheid, elektrostatica e.a.
Het cocktail aan invloeden is het gemakkelijkst te beheersen door te proberen de reikwijdte van verschillende invloeden zo klein mogelijk te houden met fysisch-chemische barrières. Een voorbeeld hiervan zijn SMIF-boxen in de halfgeleidertechniek en CIP/SIP in de sterieltechnieken.
In de verschillende toepassingsgebieden van de cleanroomtechniek bestaat een relatieve verscheidenheid aan begrippen, hoewel het vaak om hetzelfde kort genoemde feit van het beperken van contaminatie gaat. Er wordt geprobeerd de overeenkomsten te benadrukken en de gangbare begripsvorming met elkaar te verbinden. Om foutvriendelijke cleanroomtechnische systemen te bouwen en te onderhouden, en om van een 'postmortem'-standpunt naar een 'preventief'-standpunt te komen, moeten ook de afgebakende systemen continu worden gecontroleerd. Vaak wordt bij het nemen van monsters, door de meettechniek of door achterliggende data-verwerking, de gewenste meetgrootte beïnvloed, waardoor een significante controle op contaminatielage met moeilijkheden gepaard gaat.
Dat en hoe sluittechnieken kunnen bijdragen aan foutvriendelijkheid, wordt geïllustreerd aan de hand van de micro-elektronica en het voorbeeld van de sterieltechnieken.
Gedetailleerde uitwerkingen in de bijgevoegde pdf.