Techniken kontroli jakości w technologii czystych pomieszczeń

Techniken kontroli bezpieczeństwa jakości obejmują wszystkie techniki związane z lokalnymi czystymi pomieszczeniami, minienvironmentami itp. Pod pojęciem techniki czystych pomieszczeń w rozumieniu tego artykułu rozumie się wszystkie środki mające na celu zmniejszenie zanieczyszczeń. Zanieczyszczeniami nie są tylko cząstki zanieczyszczeń w formie pyłu pochodzące z mediów procesowych, takich jak powietrze, woda DI i inne gazy oraz płyny, lecz także niecząsteczkowe zanieczyszczenia jonowe, wpływy promieniowania elektromagnetycznego, temperatura, wilgotność, elektrostatyka i wiele innych.
Najłatwiej opanować mieszankę tych wpływów poprzez próbę ograniczenia zasięgu różnych wpływów za pomocą barier fizykochemicznych. Przykładami są skrzynki SMIF w technologii półprzewodników oraz CIP/SIP w technikach sterylizacji.
W różnych obszarach zastosowań techniki czystych pomieszczeń występuje względna różnorodność terminologii, mimo że często chodzi o ten sam, krótko wspomniany powyżej fakt ograniczania zanieczyszczeń. Postara się wyeksponować podobieństwa i połączyć powszechne definicje terminów. Aby tworzyć i utrzymywać systemy czystych pomieszczeń wolne od błędów oraz przejść od podejścia „post-mortem” do podejścia „prewencyjnego”, konieczne jest ciągłe sprawdzanie wyznaczonych systemów. Jednak często, szczególnie podczas pobierania próbek, technik pomiarowych lub w wyniku przetwarzania danych, dochodzi do wpływu na pożądane wielkości pomiarowe, co utrudnia wiarygodną kontrolę niskiego poziomu zanieczyszczeń.
Przedstawiono, jak techniki kontroli mogą przyczyniać się do zwiększenia niezawodności, na podstawie mikroelektroniki i na przykładzie technik sterylizacji.
Szczegółowe informacje w załączonym pliku PDF.