Pureté maximale sur de longues distances avec la solution innovante de gestion de l'énergie en salle blanche d'igus

La chaîne d'énergie C6 en combinaison avec la nouvelle roue de guidage e‑spin permet une alimentation fiable en énergie et en données avec une émission minimale de particules – et ce sur des longueurs de course jusqu'à 30 m. (Source : igus SE & Co. KG)

Que ce soit dans la microélectronique, la fabrication de semi-conducteurs ou la production de batteries, tout tourne autour de la liberté de particules et de la sécurité maximale du processus. Avec l'augmentation de l'automatisation et la croissance constante des installations, les trajets pour le transport des matériaux deviennent également plus longs. Un défi central consiste à garantir une alimentation fiable en énergie et en données tout en minimisant l'émission de particules. Les rails électriques ne transmettent pas de données, et les chaînes d'énergie nécessitent généralement des systèmes d'aspiration complexes pour les microparticules. Avec la chaîne d'énergie C6 certifiée ISO classe 1 par le Fraunhofer IPA, combinée avec la nouvelle roue de guidage e-spin, igus propose désormais une solution. Ce système permet une conduite d'énergie compacte et durable dans des salles blanches — même sur des trajets jusqu'à 30 m.

Dans les usines de semi-conducteurs modernes, les wafers de silicium traversent de nombreuses étapes de processus — de la lithographie à la gravure, puis à la métallisation. En raison des exigences strictes en matière de propreté et de liberté de particules, un transport manuel à l'intérieur de la salle blanche n'est pas envisageable. À la place, des systèmes automatisés prennent de plus en plus en charge le transport sûr et efficace des cassettes de wafers sur de longues distances. Par exemple, par le biais du transport par levage suspendu (OHT), un système de rails qui déplace les cassettes sous le plafond. Cela permet d'économiser de l'espace dans la salle blanche, mais pose un défi aux concepteurs : l'alimentation en courant et en données de l'OHT. « Les rails électriques ne transmettent pas de données et nécessitent un entretien intensif. Les chaînes d'énergie ont souvent besoin d'un dispositif d'aspiration complexe pour les particules. La demande d'une alternative propre, durable et économique adaptée aux salles blanches est donc importante », explique Kira Weller, chef de produit e-chaînes et experte en salles blanches chez igus.

Rouler plutôt que glisser avec le nouveau système de guidage e-spin

Pour résoudre ce dilemme, igus a développé pour la chaîne d'énergie C6 en salle blanche un système de guidage spécial appelé e-spin. Il s'agit de roues de guidage, qui, comme toutes les chaînes d'énergie igus, sont fabriquées en plastique haute performance, optimisé pour la tribologie, c'est-à-dire la frottement et l'usure. Les roues sont placées entre le dessus et le dessous de la chaîne d'énergie. Les parties de la chaîne roulent ainsi l'une sur l'autre, plutôt que de glisser — et cela sans émission supplémentaire de particules. « Grâce au système e-spin, les chaînes d'énergie peuvent être utilisées sans unité d'aspiration dans la production à l'intérieur d'une salle blanche. Les concepteurs réduisent ainsi la complexité de la conduite d'énergie des systèmes de transport et réalisent des économies », indique Kira Weller. Le système de chaîne d'énergie peut être configuré rapidement via l'expert e-chaînes sur le site web d'igus. Par ailleurs, la combinaison de la chaîne d'énergie C6 et des roues de guidage, fabriquées en plastique haute performance, est résistante à l'usure, nécessite peu d'entretien et est particulièrement durable. Des tests en laboratoire réalisés en collaboration avec le Fraunhofer IPA confirment : le système atteint la classe ISO 1 à une vitesse de 0,5 m/s. igus souhaite repousser davantage les limites techniques en termes de vitesses plus élevées et de trajets plus longs à l'avenir.